Occasion NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300 #9294762 à vendre en France
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ID: 9294762
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Overlay measurement system, 12"
2003 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CALIPER Q300 est un équipement très avancé et complet d'inspection de masque et de plaquettes. Il permet une inspection précise, automatisée et uniforme des composants lithographiques critiques et des wafers utilisés dans la fabrication de divers appareils électroniques. Le système se compose d'une table d'inspection des lentilles (LIT), d'une unité pas à pas pour contrôler les lentilles sur le LIT, d'une station d'optique (OS) qui comprend trois systèmes optiques distincts, un amplificateur modulaire programmable d'alignement (PAMM) microscope, une station de performance d'inspection avec caméra d'imagerie numérique haute résolution, et un bras robotique (RA) optimisé pour le chargement de mandrin, la détection de proximité et l'alignement de précision des pièces. Le LIT est une table de transport de précision avec des tolérances réglables et verrouillées noyées dans sa surface pour s'assurer que tous les composants optiques de la plate-forme restent dans la même position pendant tout le cycle d'inspection. Ceci permet à la machine d'obtenir un résultat uniforme indépendamment de toute distorsion introduite par des différences dans les paramètres d'alignement de la lentille. L'OS est responsable du transport optique des composants du masque et de la plaquette. Il se compose d'une conception optique économe en espace et en puissance qui fournit une résolution maximale grâce à une variété de grossissements. Il abrite trois systèmes optiques distincts, le PAMM et le poste de performance d'inspection, permettant des inspections simultanées et des mesures ponctuelles plus précises. Le PAMM est un microscope équipé de capacités avancées de détection et d'analyse d'images. Ses algorithmes automatisés d'extraction de fonctionnalités identifient et analysent les caractéristiques du masque et de la plaquette telles que la largeur de ligne, le pas ou d'autres dimensions critiques à mesurer. La station Performance d'inspection utilise une caméra d'imagerie numérique haute résolution pour capturer et stocker des images des composants du masque et de la plaquette pendant le processus d'inspection. La caméra assure une homogénéité précise sur les surfaces du masque et de la plaquette et permet d'effectuer des mesures d'uniformité rapidement et avec précision. Le RA est un bras robotique intelligent utilisé pour charger et positionner automatiquement la plaquette et les composants de masque pour les mesures les plus précises possibles. Il permet également à l'outil de traiter une plaquette en une seule étape, augmentant la vitesse et l'efficacité du processus. ACCENT CALIPER Q300 est un instrument avancé et efficace pour l'inspection des masques et des plaquettes. Ses systèmes optiques précis, combinés au microscope PAMM, à l'appareil photo numérique haute résolution et au bras robotique, fournissent des résultats d'inspection cohérents des composants les plus complexes utilisés dans la fabrication d'appareils électroniques.
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