Occasion NANOMETRICS Caliper Mosaic #9384480 à vendre en France

ID: 9384480
Taille de la plaquette: 12"
Overlay control system, 12" EFEM Module BROOKS Razor robot Does not include load port.
NANOMETRICS Caliper Mosaic est un équipement flexible, intégré et puissant d'inspection des masques et des plaquettes développé par NANOMETRICS pour soutenir le contrôle avancé des procédés et améliorer le rendement dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système dispose d'une combinaison optimisée de capacités d'inspection optique automatisée et d'imagerie, ainsi que d'une série d'outils logiciels pour la gestion des images et l'analyse des défauts. Cela permet à l'unité de détecter et de classer les défauts de manière fiable. Les capteurs d'image utilisés par la machine fournissent des relevés rapides et peu bruyants tant en position de phase qu'en images de transmission. Les images binaires de la plaquette sont créées et comparées aux images de masque et de produit définies par le client, ce qui permet de détecter des caractéristiques de taille aussi petite que 3 nanomètres. L'outil d'inspection dispose d'un microscope à balayage confocal à double faisceau (DCSM) avec une profondeur de champ exceptionnelle et des capacités d'imagerie haute résolution qui permettent de repérer avec précision et de caractériser les défauts. Le matériel d'inspection utilise une étape de balayage à quatre axes qui permet un balayage à grande vitesse avec une précision de 250 nanomètres dans le plan X-Y. Le logiciel de traitement d'image du modèle comprend des algorithmes qui peuvent détecter des caractéristiques très faibles, telles que des rayures, des particules et des défauts sur la surface de la plaquette, et des algorithmes de classification des caractéristiques et des défauts pour distinguer différents types de défauts. En outre, l'équipement fournit une interface graphique puissante et conviviale qui simplifie la conception, le réglage et l'exécution des tâches d'inspection, tout en permettant l'analyse détaillée automatisée et la caractérisation des images de défauts, permettant aux utilisateurs de diagnostiquer avec précision et de résoudre rapidement les problèmes de rendement et de traitement. En fin de compte, la combinaison de l'imagerie haute résolution, du traitement automatisé des images et du logiciel intuitif de Caliper Mosaic permet de s'assurer que les exigences de qualité et de rendement des clients sont respectées.
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