Occasion NANOMETRICS M-5000 #9159251 à vendre en France
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ID: 9159251
Taille de la plaquette: 6"
Thin film thickness measurement system, 6"
Operating system: DOS.
NANOMETRICS M-5000 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour des environnements de production à haut volume. Ce système automatisé fournit des mesures précises de topographie de défauts et des mesures de caractéristiques pour les géométries de plaquettes. L'unité utilise une technologie d'imagerie avancée pour capturer des images détaillées de la plaquette, et une tête de balayage laser rapide pour cartographier les défauts sur de grandes zones. Grâce à un mécanisme oscillant à axe Y et à un étage/miroir à axe X à grande vitesse, NANOMETRICS M5000 est capable de balayer une seule plaquette en une seule passe, sans perturbation. Cela permet de réduire les temps de débit avec une précision supérieure. La machine de métrologie hautement intégrée offre à la fois un champ sombre et un champ lumineux pour la capture d'images 2D et 3D, permettant une caractérisation exceptionnelle des défauts et une métrologie des plaquettes. M-5000 adopte des algorithmes sophistiqués pour analyser les images, puis calcule une variété de paramètres de défaut. Un outil logiciel intégré permet de mesurer rapidement et avec précision les dimensions, les distances et les angles des composants, ainsi que le tracé des bords, le pointage et le contraste des couleurs basé sur les couches. Les données collectées par l'actif d'inspection sont affichées dans une interface graphique complète, offrant une amélioration significative de la visibilité des défauts. Avec sa caméra haute résolution et ses outils de mesure intégrés, M5000 a été montré pour améliorer les processus de production des clients. En outre, NANOMETRICS M-5000 comprend une gamme de procédures automatisées d'étalonnage et de validation qui peuvent être configurées pour les formes de plaquettes en salle blanche et non blanche, ainsi que pour les surfaces de plaquettes en contour simple et multi-zones. En outre, les capacités d'imagerie avancées du modèle NANOMETRICS M5000 lui permettent de surveiller les défauts, tels que les éruptions et les défauts biseautés, dans les petits appareils. Son équipement intuitif de navigation et de contrôle permet de réduire le temps d'inspection des défauts tout en augmentant la précision de détection des défauts. Ce système aide également à signaler les défauts en générant des rapports PDF ou tabulaires. Dans l'ensemble, M-5000 est une unité de métrologie avancée conçue et fabriquée pour une production à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs, fournissant une topographie détaillée des défauts et des capacités de mesure des caractéristiques. La machine est très avancée et offre des avantages importants en termes de débit et de précision qui sont extrêmement précieux pour les processus de production et de fabrication.
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