Occasion NANOMETRICS NanoSpec 6100 #9021098 à vendre en France
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Vendu
ID: 9021098
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Automated film thickness measurement system, 3" - 8"
Model no. 7000-0545 Rev P8
Measures sites as small as 10 µm in diameter
Computerized 1 µm resolution stage
Handles wafer substrates 75 mm to 300 mm in diameter
Photomasks from 5" to 9" square
Film thickness in the range of 200 Å - 30 µm
Visible light source (400 nm to 800 nm halogen lamp)
Spot size: 4x, 10x
Autofocus feature
UV wavelength range: no
OS: Microsoft Windows 98
115 VAC, 5 A, 50/60 Hz
2000 vintage.
NANOMETRICS Nérabilité Spec 6100 est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes qui utilise ses capacités d'imagerie optique avancées pour fournir l'imagerie la plus haute résolution disponible lors de l'inspection des masques et des plaquettes de semi-conducteurs. Ce système fournit une solution complète pour l'inspection des masques et des plaquettes, permettant aux utilisateurs de vérifier rapidement et facilement la précision de conception et la conformité aux règles lors des processus actifs de fabrication des plaquettes. NanoSpec 6100 est équipé avec une variété de systèmes reflétants optiques avancés, en incluant le laser en lisant rapidement confocal la microscopie (LSCM) et la microscopie confocal 3D projetée du point (PPCM). Il peut représenter des types de plaquettes allant du dioxyde de silicium (SiO2) aux substrats épi de 4 pouces, tout en offrant une imagerie haute résolution des motifs critiques sur les masques et les plaquettes. NANOMETRICS Nérabilité Spec 6100 est également équipé d'une fonction Arc ~ Link qui permet l'intégration avec des outils d'inspection automatisés pour simplifier le processus d'inspection des masques et des plaquettes. Cette intégration permet la mise à jour automatique de divers paramètres tout en permettant l'analyse en temps réel des données d'inspection traitées. NanoSpec 6100 est capable de l'appariement de vitesse, en tenant compte du débit de vitesse plus rapide et de l'intégrité de débit d'instrument améliorée en tenant compte aussi de la couverture d'essai améliorée en cas des changements de région de promotion ou des défauts. L'unité dispose d'une machine de détection haute sensibilité qui permet des résolutions très développées jusqu'à 0,1 micron, tandis que la précision des réglages de grossissement est encore améliorée avec la précision nano-niveau. En outre, cet outil est équipé d'une fonction unique de compensation à double foyer qui permet d'optimiser le masque et le focus de la plaquette même avec des désalignements de l'échantillon. NANOMETRICS Nérabilité Spec 6100 est également livré de série avec un moteur de traitement puissant, permettant une amélioration optimale de l'image. Cette amélioration de l'image permet l'inspection de motifs plus fins, et l'élimination des artefacts optiques. Avec un atout combiné d'inspection et de métrologie, Nérabilité Spec 6100 est en mesure de fournir la solution la plus complète pour surveiller activement la qualité des masques et des plaquettes au cours de leur processus de fabrication. Ce modèle est livré avec une variété de caractéristiques, lui permettant d'inspecter avec précision les géométries et les matériaux difficiles à imaginer. NANOMETRICS NhouseSpec 6100 utilise des techniques spécialisées, telles que l'éclairage polarisé et balayant plusieurs niveaux de focalisation pour fournir le relief des artefacts optiques. La version la plus avancée de Nérabilité Spec 6100 est le modèle M-821-RF, qui dispose d'un champ de vision complet de 81,25 tonnes vue, le rendant applicable pour la plupart des types de masques et de plaquettes. En conclusion, NANOMETRICS Nérabilité Spec 6100 est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes qui fournit à l'utilisateur des capacités d'imagerie optique supérieures, l'adaptation de la vitesse, la précision nano-niveau, et un moteur de traitement puissant. Ce système offre également une variété d'options avancées d'amélioration de l'image, comme l'éclairage polarisé et la focalisation à plusieurs niveaux, permettant à l'utilisateur d'inspecter les géométries et les matériaux difficiles à imaginer. En fournissant à l'utilisateur une unité intégrée d'inspection et de métrologie, Nérabilité Spec 6100 permet une surveillance plus étroite et plus précise de la qualité globale des masques et des plaquettes au cours du processus de fabrication.
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