Occasion NANOMETRICS NanoSpec 8000 #9241928 à vendre en France
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Vendu
ID: 9241928
Style Vintage: 1997
Automated film thickness metrology system
Film types measured:
Typical range:
Single layer films:
Visible: 200 Å - 30 µm
UV: 25-500 Å
Double layer films:
Visible:
Top layer: 100-30000 Å
Bottom layer: 100-10000 Å
Single layer thick films:
Visible: 4-30 µm
Absolute and relative reflectance:
Visible: 400-800 nm
UV: 210-400 nm
Oxide on poly:
UV: 150-10000 Å
Oxide on metal:
Visible: 3000-20000 Å
UV: 500-5000 Å
Refractive index: 1000-10000 Å
Typical precision:
Single layer films:
Visible: 0.1% or 2 Å min
UV: <1 Å
Double layer films:
Visible:
Top layer: 0.1% or 2 Å min
Bottom layer: 0.1% or 2 Å min
Single layer thick films:
Visible: 0.5%
Absolute and relative reflectance:
Visible: <0.4%
UV: <0.4%
Oxide on poly:
UV: 0.1% or 2 Å min
Oxide on metal:
Visible: 0.1% or 3 Å min
UV: 0.1% or 3 Å min
Refractive index: 0.0005
1997 vintage.
NANOMETRICS Nérabilité Spec 8000 est un masque et un équipement d'inspection de plaquettes de NANOMETRICS conçu pour la détection des défauts dans la fabrication de micro et nano-appareils. Le système dispose d'une unité logicielle automatisée avec des filtres algorithmiques basés sur des paramètres pour l'inspection précise des défauts, ainsi que des capacités d'imagerie et d'acquisition de données. Il a une résolution d'image maximale de 10um/pixel, avec des paramètres personnalisables pour les propriétés optiques et électriques des matériaux utilisés dans le processus de fabrication. La machine est facile à utiliser et est équipée de commande de mouvement et de logiciels sophistiqués pour l'automatisation du processus d'imagerie. Le processeur comprend également une variété de fonctions de détection de bord et de motifs pour l'acquisition efficace de données. NanoSpec 8000 utilise l'optique avancée pour acquérir une variété de renseignements critiques, tels que la ligne et les largeurs de bord, la symétrie de lignes et bords et profondeur de traiter des traits. En outre, il utilise un outil d'éclairage à quatre voies pour fournir un équilibre idéal des conditions d'imagerie, y compris l'éclairage à faible angle pour la mesure à grande vitesse, et l'éclairage ciblé pour aider aux exigences de résolution. NANOMETRICS Nérabilité Spec 8000 est capable d'imager rapidement et avec précision des appareils à différents niveaux de complexité dans une variété de matériaux. NanoSpec 8000 a été conçu pour réduire la complexité de flux de production et maximiser le débit. Il est équipé d'une interface intelligente et programmable, permettant un fonctionnement facile même des mesures d'imagerie les plus complexes. De plus, l'actif assure également un traitement efficace, sûr et sécurisé des données. En conclusion, NANOMETRICS Nérabilité Spec 8000 est adapté à une large gamme de tâches d'inspection, y compris la fabrication de masques et de plaquettes. Il est capable de fournir une imagerie haute résolution pour la détection des défauts et dispose d'une interface utilisateur intuitive pour une efficacité maximale. Il offre également une variété de fonctions d'imagerie et d'outils de détection de bord et de motifs pour faciliter l'acquisition de données, ainsi qu'une plate-forme sécurisée pour le stockage de données.
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