Occasion NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #293656608 à vendre en France
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NANOMETRICS NhouseSpec AFT 210 de NANOMETRICS est un équipement professionnel d'inspection de masque et de wafer conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il offre une imagerie par masque et wafer via une scatterométrie haute résolution très avancée, ainsi qu'une métrologie in-die de haute précision. Le système dispose d'un puits d'image de grossissement 20x intégré qui effectue l'inspection automatisée des caractéristiques de la plaquette et d'un puits d'image descendant 3.5x qui fournit un champ de vision plus grand pour voir sur l'ensemble de la plaquette. L'unité d'inspection prend en charge l'imagerie, le suivi et l'évaluation des motifs de lithographie, la couture des masques et des plaquettes, ainsi que la métrologie interne. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 210 est livré avec une capacité de cartographie de wafer entièrement automatisée, de sorte qu'il peut rapidement acquérir des données optiques et de scatterométrie pour les différents aspects d'un processus de fabrication de masque ou de wafer, tels que les mesures de densité de défauts et de superposition. L'imagerie par scatterométrie supporte une large gamme de longueurs d'onde, permettant l'inspection de différents processus et géométries. Il peut détecter des motifs avec des largeurs de ligne aussi petites que 0.018 microns. Pour des mesures de métrologie précises, la machine utilise son capteur de métrologie embarqué, qui offre à la fois une grande précision et une haute résolution. Il peut mesurer des motifs multicouches se chevauchant à quelques nanomètres près. L'outil peut également détecter et mesurer les défauts, étouffement/inclinaison et autres irrégularités. En termes de convivialité, l'actif dispose d'une interface tactile facile à utiliser, de sorte que les utilisateurs peuvent rapidement configurer et exploiter le modèle. Il offre également une variété d'outils logiciels pour l'analyse et la manipulation des données. L'équipement est livré avec une option pour intégrer des outils de métrologie supplémentaires, tels qu'une lithographie thermique multiple et un système de métrologie avancé. Dans l'ensemble, le NhouseSpec AFT 210 de NANOMETRICS est une excellente option pour la fabrication de semi-conducteurs qui répond à tous vos besoins d'inspection et de métrologie. Grâce à son imagerie haute résolution et à la cartographie automatisée des plaquettes et des masques, vous pouvez garantir précision et qualité tout au long de vos flux de production.
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