Occasion NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #9043965 à vendre en France
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AFT de NANOMETRICS NanoSpec 210 est un automatisé 100X le masque et l'équipement d'inspection de gaufrette utilisé dans l'industrie de semi-conducteur pour la détection de défauts physiques et électriques. Le système permet de détecter et d'identifier les défauts grâce aux techniques de scatterométrie par diffraction et à la nanopatternation du faisceau électronique. Il est doté d'une unité de vision à haute vitesse et d'un moteur de détection et de classification des défauts basé sur un modèle physique. Cette combinaison de fonctionnalités offre une grande précision et répétabilité en temps de balayage rapide. Il est également capable de mesurer des largeurs de raies jusqu'à moins de 50 nanomètres (nm). En outre, la machine peut discriminer différents types de défauts tels que lithographie, dopage, placage et gravure. L'éclairage de champ sombre et réfléchissant est utilisé dans le cadre de la Nthat Spec, ce qui permet une grande variété de configurations d'inspection. L'outil s'appuie sur un atout d'imagerie ultra-rapide pour capturer des informations en nanosecondes et un modèle de traitement d'image conçu pour une reconnaissance efficace des motifs. L'équipement peut détecter des défauts aussi petits que 110 nm, y compris ceux créés par des techniques lithographiques avancées telles que des lignes divisées en tangage et des mises en page à double tonalité. Le système offre également la programmation automatisée des tâches, le contrôle des processus et l'analyse de réussite/échec. Il est capable d'inspections simultanées des plaquettes et des masques en grand volume et peut être intégré à de nombreux systèmes de contrôle des processus avant-coureurs. L'unité est également équipée d'un microscope laser pour identifier et étudier les microstructures et la contamination. La précision d'inspection des défauts du Nthat Spec est de 0,2 micron pour tous les types de défauts. De plus, la machine offre un taux d'échantillonnage de 100 % qui garantit l'identification de tous les défauts présents sur une plaquette ou un masque. Toutes les données de l'outil sont stockées dans la base de données exclusive de l'entreprise pour une analyse plus approfondie et une évaluation des processus. L'actif est également compatible avec la plupart des principaux logiciels de manipulation et d'évaluation des données. Il s'agit d'un instrument économique qui permet d'identifier et de réduire les défauts tout en optimisant l'outil d'amélioration des processus. Grâce à son interface intuitive et facile à utiliser, les clients peuvent rapidement configurer les paramètres, sélectionner les critères de détection des défauts appropriés et générer des rapports d'inspection détaillés. De plus, le balayage rapide du modèle réduit le temps d'inspection des masques et des plaquettes, ce qui signifie une augmentation du débit de production.
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