Occasion NANOMETRICS NanoSpec AFT 210UV #9160099 à vendre en France
URL copiée avec succès !
ID: 9160099
Taille de la plaquette: 4"
Film thickness measurement system, 4"
Stage: 4" wafers
Range of Thickness: 100 to 500,000 angstroms
Spot size: 50 um with 5x objective
25 um with 10x objective, 6.5 um with 40x objective
Objectives: Olympus MS Plan 5, MS Plan 10, ULWD MS Plan 50
Optional objectives: Olympus M5X and M100X
Film types:
Oxide on Silicon
Nitride on Silicon
Negative resist on Silicon
Poly silicon on Oxide
Negative resist on Oxide
Nitride on Oxide
Polyimide on Silicon
Positive resist on Silicon
Positive resist on Oxide
Reflectance mode:
Thick films, reproducibility: 5A ± 5% depending upon the film type
Typical measurement time: 2.5 seconds
Typical measurement time in UV mode: 10 seconds.
AFT de NANOMETRICS NanoSpec 210UV est un état de l'équipement d'Inspection de Gaufrette et de Masque d'art conçu au plus haut niveau d'exactitude d'inspection. Le système combine l'optique de pointe et la technologie d'imagerie numérique avec une unité de balayage contrôlée par ordinateur pour fournir le plus haut niveau de précision d'inspection. L'AFT 210UV fournit l'analyse d'image, l'analyse des défauts, le dimensionnement des défauts et la cartographie des défauts à des résolutions inférieures à 50 nanomètres. La machine comprend deux étages de balayage linéaire, un étage de balayage galvanométrique et un étage de balayage discret pour produire un large éventail de paramètres et de résolutions de balayage. L'étage discret de scan a jusqu'à 10nm de résolution et ~ 10mm2 de champ de vue. Les trois étages sont combinés avec une caméra de 12 mégapixels qui est capable d'acquérir des images à une vitesse et une précision exceptionnellement élevées. De plus, l'outil comprend un processeur de signal numérique 16 bits (DSP), un réseau de portes programmables de champ (FPGA) et un microcontrôleur pour effectuer en parallèle la capture d'image, le repérage des défauts et l'analyse. Le moteur optique de l'AFT 210UV est conçu pour offrir une grande efficacité et une haute résolution pour les applications d'inspection les plus exigeantes. L'optique avancée permet également des capacités d'imagerie telles que la couleur, le gain, le focus, les vues en direct et la polarisation. L'AFT 210UV est équipé de logiciels et d'algorithmes avancés pour permettre l'inspection automatisée. Ses algorithmes avancés d'analyse et de traitement d'image peuvent être utilisés pour détecter de petits défauts sur les plaquettes et les masques. L'actif dispose également d'algorithmes avancés d'analyse des défauts pour identifier, classer, compter, taille et cartographier les défauts avec précision sur les plaquettes ou les masques. Dans l'ensemble, Nérabilité Spec AFT 210UV est un outil puissant et fiable d'inspection des masques et plaquettes. Il dispose d'une combinaison unique d'optique précise, d'imagerie ultra-haute vitesse, de haute résolution et d'algorithmes d'imagerie avancés pour fournir le plus haut niveau de précision d'inspection. Le modèle est idéal pour prendre des décisions critiques lorsque vous travaillez sur des processus avancés de fabrication de plaquettes et de masques.
Il n'y a pas encore de critiques