Occasion NANOMETRICS NanoSpec AFT #293807248 à vendre en France
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NANOMETRICS Le nanometrics AFT est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système est basé sur la technologie d'interférométrie à balayage vertical (ISV), fournissant des mesures très fiables et répétables pour divers procédés de fabrication et de recherche de semi-conducteurs. Les principaux composants de l'unité comprennent une unité interférométrique, une unité électro-optique et un contrôleur. L'unité interférométrique utilise la technique VSI pour mesurer le profil de surface de l'échantillon - soit un photomasque, soit une plaquette - avec une précision extrême. L'unité électro-optique contient l'optique de détection et l'électronique nécessaires à l'analyse des données collectées par l'unité interférométrique. Le contrôleur est utilisé pour faire fonctionner les deux sous-systèmes et surveiller l'état et les performances de l'échantillon dans son ensemble. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT combine la sensibilité élevée de VSI avec la technique de directivité du débit d'air (AFT) pour fournir des capacités de mesure extrêmement précises. La machine utilise un flux d'air continu sur l'échantillon de la tête du capteur qui permet une métrologie standard non destructive de l'échantillon dans son ensemble. La nature non destructive de l'outil empêche également l'échantillon d'être endommagé. L'actif a des applications non seulement dans l'industrie des semi-conducteurs, mais aussi dans les applications de recherche et développement. Les algorithmes avancés de traitement du signal permettent des mesures répétables et précises de divers attributs de l'échantillon, tels que la rugosité de surface, la largeur des lignes et la planéité. L'AFT permet également de mesurer des profils de surface complets et des caractéristiques sous-microns telles que la rugosité de bord de ligne (LER), le facetage, la rugosité de la largeur de ligne et la variation de profondeur. Ceci le rend particulièrement utile pour inspecter les motifs de masques de couche critique et les profils de grille de transistor. NANOSPEC/AFT est conçu avec un débit d'échantillons élevé, lui permettant d'effectuer des inspections de grandes quantités d'échantillons dans un court laps de temps. Il est également très facile à utiliser et peut être adapté à des applications spécifiques. Sa taille compacte et son faible coût en font un choix idéal pour l'inspection des semi-conducteurs et les applications de recherche.
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