Occasion NIKON Optistation 3000 #9372005 à vendre en France
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ID: 9372005
Taille de la plaquette: 12"
Inspection system, 12"
NIKON L300, 12" (Brightfield / Darkfield and DIC Observation)
Non-contact wafer alignment
Standard cassette type:
FOUP
FOSB
FFO
Micro inspection:
Surface
Backside
Edge
Wafer transfer system:
High-speed
Multi-Axis robot
Reliability:
Availability: >95%
MTBF: 1500 Hours
Stage: 360° Rotation
Vacuum: -66.7 KPa / -30 Nl / min
Power supply: 200 VAC-10%, 10A, 50/60 Hz.
NIKON Optistation 3000 est un équipement entièrement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour la production de haute précision et à haut débit de la prochaine génération de produits semi-conducteurs. Le système dispose d'une unité d'imagerie optique avancée, comprenant des objectifs de haute performance, et des photosenseurs visibles et sensibles à l'infrarouge. Utilisant une machine de contrôle de processus unique, un positionnement précis et des algorithmes automatisés de recherche de bord, Optistation 3000 assure une inspection automatisée précise et rapide des plaquettes et des masques. Au cœur de NIKON Optistation 3000 réside un outil de numérisation 3D précis et des algorithmes logiciels avancés. Utilisant un objectif de grand diamètre, un positionneur haute performance et des routines logicielles avancées, Optistation 3000 est capable de détecter et de mesurer des défauts de grande surface, ainsi que des défauts localisés extrêmement petits de l'ordre du nanomètre. Avec 2D et 3D Edge Find, y compris Edge Searcher, NIKON Optistation 3000 localise automatiquement les bords d'une plaquette ou d'un masque et exécute les chemins d'inspection en conséquence. Optistation 3000 est équipé d'un module de polarisation personnalisé unique, permettant une caractérisation optique précise, des mesures et la détection des défauts. De même, l'actif est équipé d'un modèle intégré de repérage de focalisation capable de surveiller et d'ajuster constamment la focalisation en fonction de la différence de hauteur verticale détectée dans la surface de l'échantillon. NIKON Optistation 3000 offre également une traçabilité complète grâce à sa bibliothèque de pistes d'audit sophistiquée qui stocke et documente les résultats détaillés de l'inspection, la production, le processus, l'opérateur et l'information d'identification de lot. De plus, l'équipement offre un ensemble optionnel de mesure de linéarité de haute qualité pour l'inspection de la carte de recouvrement d'échantillons, ainsi que l'inspection de la valeur de focalisation du masque OSML. En résumé, Optistation 3000 est un système automatisé puissant et fiable d'inspection des masques et des plaquettes pour des environnements de production de haute précision et à haut débit. Avec un objectif de grand diamètre, une unité d'imagerie optique avancée et de polarisation, et des algorithmes uniques de contrôle de processus, NIKON Optistation 3000 offre des performances précises et fiables.
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