Occasion NIKON OPTISTATION 7 #9234683 à vendre en France
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ID: 9234683
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Wafer inspection system, 12"
Cassette type: FOUP 25 Wafer
Chuck materials: PEEK
Transfer robot
Optical system: BF/DF
Auto forces function
Remote operation: Magnification changer, BF/DF changer, AS, FS
Microscope stage pre-alignment accuracy:
Eccentricity: 3σ ≤ 35µm
Attitude angle: 3σ ≤ 2°
Optical system: Infinity optical
Objective lens: BF/DF Observed BD-PLM 5x, 10x, 20x, 50x, 100x
Eyepiece lens: CFUWN 10x (F.N.25)
Observation tube: Super wide field trinocular tilt observation tube UWTT
Eyepiece angle: 10° to 30°
Motorized revolving nosepiece: Quintuple for BF/DF
Microscope illumination: 12 V, 100 W Halogen lamp
Throughput:
Macro-inspection (2 Sec)
Cassette all point ≤ 6 min 30 sec
Micro-inspection (5-Points, per 1 sec) ≤ 10 min
Auto-focus:
Detective method: LED Illumination slit projection AF
Illumination source LED: Wavelength 770 nm
Observed method: BF/DF
Eyepiece lens: 10x-150x
Stage:
X-Y Stage:
Observed area, 12"
θ Rotation: Rotating angle: 3.5°
Pre-alignment type: Non-contact pre-alignment
Eccentricity: 3σ ≤ 35µm (X,Y)
Attitude angle: 3σ ≤ 2°
Arm type: Belt drive
FOUP (Load port):
ASYST FL300S3 Side loading type port
SEMI (E-15-1) Standard
Alignment load wafer
Illumination source: LED 910 nm
Detector: Photo-transistor (PT)
Eccentricity: Macro-stage ≤ ± 1.5 mm
Macro stage
Surface macro
Auto drive
Tilt angle: Infinity
Speed: ≤ 15 RPM
Angle: -90° to -120°
Special halogen lamp L1L-100
Backside macro: 15 V, 100 W Halogen lamp (Fiber illumination type)
2007 vintage.
NIKON OPTISTATION 7 est un équipement d'inspection automatisé et de masque haut de gamme conçu pour les fabricants qui nécessitent des instruments optiques de haute précision et des capacités d'automatisation avancées. Le système fournit des capacités d'imagerie haute résolution et de mesure précise, en mettant l'accent sur l'inspection des défauts, l'évaluation des processus et la prévision des rendements. L'unité dispose d'une étape automatisée avancée pour faciliter le chargement et le déchargement des échantillons. Il offre une configuration quad-détecteur - Fourier, Edge, Broadband Contour et Shading Inspection - pour assurer le plus haut degré de précision et d'efficacité dans le processus d'examen. Il dispose également d'un logiciel amélioré pour le traitement efficace de l'image et l'analyse haute performance. NIKON OPTISTATION-7 dispose d'une haute résolution optique jusqu'à 16 mégapixels et d'une résolution d'image jusqu'à 5133 dpi, permettant des mesures très précises et précises. La machine dispose également d'un outil d'éclairage LED réglable, lui permettant d'inspecter des échantillons de plaquettes transparents, diffractants et diffuseurs. OPTISTATION 7 utilise un ensemble d'outils conviviaux et intuitifs qui simplifient le processus d'inspection. Il permet aux utilisateurs de personnaliser des paramètres tels que le temps d'exposition, l'intensité lumineuse, la focalisation, etc., pour s'assurer que chaque échantillon répond à des critères précis. OPTISTATION-7 maintient également un temps d'arrêt minimal avec des options de maintenance avancées et une API de programmation universelle. L'actif est capable d'exécuter des scripts automatisés pour inspecter jusqu'à 4 parties simultanément, et il peut être intégré avec des systèmes d'inspection d'autres fabricants via une interface réseautable. NIKON OPTISTATION 7 est un instrument fiable pour les défauts lithographiques et de processus qui permet aux fabricants d'inspecter avec confiance les produits haut de gamme pour des performances fiables. Avec son interface conviviale, ses capacités d'automatisation avancées et ses techniques d'imagerie haute résolution, le modèle est sûr de fournir des résultats fiables et cohérents.
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