Occasion NIKON Optistation VII #293592368 à vendre en France
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ID: 293592368
Wafer defect inspection system, 12"
(2) FOUP Front end load ports
ASYST ISO Port FL300 with mapper and RF ID
ULPA Filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
Eyepieces: 10x
Objective lens: 2.5x
0.075 W.D. 8.8 mm
10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm
20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm
50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm
150x N.A. 0.900 W D.0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 W
Robot controller
Ceramic robot arm
Macro unit A:
Wafer chuck
Macro movable unit
Slider assembly
Macro unit B:
Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit
XY Stage / Chuck
XYZ Drive unit
DART Controller: Image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard / Trackball
Image capture board:
Integral technologies video card
SONY DXC- 9XX/MD Camera.
NIKON Optistation VII est un équipement flexible et à haut débit d'inspection des masques et des plaquettes qui permet une inspection rapide et automatisée des masques et des plaquettes. Ce système offre une précision supérieure en termes de détection de défauts, avec la capacité de détecter des motifs aussi petits que 0,2 à 0,8 microns. Il offre également une large gamme de polyvalence pour l'inspection d'une variété de matériaux différents, y compris des photomasques, des masques lithographiques et des plaquettes. L'appareil fonctionne à l'aide d'une source lumineuse au xénon stroboscopique à grande vitesse pour éclairer l'échantillon et d'une caméra CCD pour capturer l'image. La machine d'imagerie peut détecter des différences submicroniques ainsi que des signaux bien au-delà du spectre lumineux visible, ce qui permet à l'outil d'inspecter avec précision les défauts et les sous-micro-structures. Son réseau CCD 4K pixel permet une résolution d'inspection extrêmement fine, et l'actif dispose de puissantes capacités de grossissement allant de 5x à 2500x. Le modèle dispose d'une grande zone d'inspection de 12x12 pouces, lui permettant de couvrir jusqu'à une zone dense du matériau rapidement et de manière non destructive. Sa focalisation en profondeur constante assure une grande précision et cohérence dans l'ensemble, de sorte que les images sont toujours vives et claires. De plus, sans intervention humaine nécessaire, l'équipement peut effectuer un balayage et une analyse automatisés sans interruption. En outre, Optistation VII est équipé de logiciels avancés pour l'inspection automatisée des fonctionnalités. Il dispose d'un puissant moteur de détection des défauts pour détecter les particules, les défauts, les défauts mineurs et les irrégularités. Ce logiciel est également équipé de puissantes capacités de programmation, permettant à l'utilisateur de créer des séquences automatisées pour inspecter plusieurs types de fonctionnalités. NIKON Optistation VII est conçu pour fournir une inspection automatisée, fiable et de haute précision des masques et des plaquettes. Avec une large gamme de polyvalence, des capacités logicielles avancées, et une précision supérieure, c'est un choix idéal pour les applications d'inspection qui nécessitent un haut degré de précision.
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