Occasion NIKON Optistation VII #9171873 à vendre en France
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ID: 9171873
Taille de la plaquette: 12"
Wafer defect inspection system, 12", parts machine
(2) FOUP Front end load ports
ASYST ISO port FL300 with mapper and RF ID
ULPA Filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
Eyepieces: 10x
Objective lens: 2.5x
0.075 W.D. 8.8 mm
10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm
20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm
50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm
15x N.A. 0.900 W D.0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 W
Robot controller
Ceramic robot arm
Macro unit A:
Wafer chuck
Macro movable unit
Slider assembly
Macro unit B:
Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit
XY Stage / Chuck
XYZ Drive unit
DART Controller: Image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard / Trackball
Image capture board:
Integral technologies video card
SONY Camera: DXC- 9XX/MD
Includes:
Robot
Sensor ARM
Power supply
Magnetic track
Controller.
NIKON Optistation VII est un équipement complet et avancé d'inspection des masques et plaquettes. Il dispose de capteurs d'image haute luminosité avec plusieurs plates-formes d'imagerie, ce qui le rend idéal pour diverses tâches d'inspection. Le système est particulièrement bien adapté pour l'identification précise et précise des défauts mineurs dans la lithographie des plaquettes et l'inspection des masques. L'unité intègre un capteur couleur CCD quad qui est capable de capturer des images couleur avec des résolutions jusqu'à 10 fois supérieures aux systèmes classiques d'inspection de masque et de plaquettes. Il intègre également une technologie de projection DLP intégrée, qui offre une luminosité, une résolution, une saturation et une dynamique exceptionnelles. La technologie DLP offre également une uniformité et une cohérence inégalées, ce qui donne une qualité d'image supérieure à celle des systèmes conventionnels. Optistation VII dispose également d'une optique de pointe pour l'imagerie claire et nette. Il utilise la technologie avancée de détection et de correction du front d'onde pour éliminer les aberrations optiques. Cela garantit une machine optique ultra-pointue qui est capable de détecter des caractéristiques très fines dans l'inspection des plaquettes et des masques. L'outil comprend une gamme complète d'outils de traitement et d'analyse d'images, tels que l'auto-alignement, l'examen des défauts, l'appariement des motifs et l'amélioration dynamique de l'image. Les outils de traitement et d'analyse des images peuvent être utilisés pour identifier et analyser les défauts dans l'inspection des plaquettes et des masques. En outre, NIKON Optistation VII comprend également un certain nombre d'autres fonctionnalités avancées telles que l'auto-focus, la couture 3D et les algorithmes avancés de traitement d'images. L'actif dispose également d'une capacité de production de statistiques intégrées, qui permet une analyse détaillée des résultats de chaque inspection. Optistation VII est une solution idéale pour les applications d'inspection des masques et des plaquettes, offrant des performances et une fiabilité supérieures. C'est un modèle efficace et efficient pour inspecter et analyser divers composants utilisés dans la fabrication de plaquettes et de lithographies.
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