Occasion NIKON Optistation VII #9225598 à vendre en France

ID: 9225598
Taille de la plaquette: 12"
Automated inspection station, 12" With FOUP loaders (2) FOUP Front end load ports: ASYST ISO Port FL300 With mapper and RFID Integrated ULPA filtration system Air suspension vibration isolation table Standard microscope unit with automated control 10x Eyepieces Objective lens: 2.5x N.A 0.075 W.D 8.8 mm 10x N.A 0.300 W.D 6.50 mm 20x N.A 0.460 W.D 3.10 mm 50x N.A 0.900 W.D 0.42 mm 150x N.A 0.900 W.D 0.29 mm Halogen lamp house: 12 V, 100 Watt Robot and robot controller Ceramic robot arm Ceramic rotation arm Macro unit (A): Wafer chuck Macro movable uni Slider assembly Macro unit (B): Arched holder Rotation unit assembly Micro stage unit: XY Stage / Chuck X, Y, Z Drive units Dart controller for image archiving and defect review LCD Display Keyboard & trackball Image capture board SONY Camera: DXC-9XX/MD.
NIKON Optistation VII est un équipement avancé d'inspection des masques et plaquettes qui dispose d'une caméra intégrée à haute résolution, d'une optique ultra haute résolution, de techniques d'éclairage avancées et d'un logiciel sophistiqué. Optistation VII permet une inspection rapide, précise et non destructive des masques et plaquettes utilisés dans la fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs. Avec ses fonctionnalités avancées, NIKON Optistation VII offre un système complet d'inspection des masques et des plaquettes et de détection des défauts, anomalies et imperfections de motifs. Optistation VII est conçu pour l'inspection optique des métaux et des photomasques, avec un microscope spécialement conçu qui permet une vue de champ maximale de 10x et une résolution maximale de 20,4 μ m, pour assurer une inspection précise. Un spectrophotomètre de réflectance est intégré pour les mesures colorimétriques et NIKON Optistation VII est capable de détecter les plus légères irrégularités dans les réflexions de masques, les points saillants spéculaires et d'autres formes d'imperfections matérielles. Optistation VII dispose également d'une caméra de niveau wafer haute résolution, permettant l'examen des structures au niveau de précision de 16nm. La caméra dispose d'un capteur d'image CMOS avec un champ de vision de 3,8 mm de large et une résolution de 1,5 um, avec un débit maximum de 56Gbps. La caméra peut être ajustée à différentes distances de focalisation, permettant la meilleure résolution et l'éclairage du matériau étudié. L'unité d'inspection offre une variété de techniques d'éclairage avancées, y compris un éclairage polarisé, dispersé et oblique qui peut être utilisé pour étudier et analyser les plus petites caractéristiques possibles. NIKON Optistation VII est équipé d'un puissant logiciel de traitement d'image capable de détecter et de mesurer un large éventail de défauts tels que des trous d'épingle, des smudges, des lignes et des imperfections de motifs. Les défauts sont identifiés en temps réel et le logiciel peut créer un rapport détaillé avec analyse quantitative des défauts. Optistation VII fournit une puissante et flexible machine d'inspection de masque et de plaquettes pour un large éventail d'industries. Avec son optique haute résolution, ses méthodes d'éclairage avancées et son logiciel de détection et d'analyse des défauts, NIKON Optistation VII permet une inspection efficace des masques et des plaquettes avec une précision et une précision supérieures.
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