Occasion NIKON Optistation VII #9225598 à vendre en France
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ID: 9225598
Taille de la plaquette: 12"
Automated inspection station, 12"
With FOUP loaders
(2) FOUP Front end load ports:
ASYST ISO Port FL300
With mapper and RFID
Integrated ULPA filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
10x Eyepieces
Objective lens:
2.5x N.A 0.075 W.D 8.8 mm
10x N.A 0.300 W.D 6.50 mm
20x N.A 0.460 W.D 3.10 mm
50x N.A 0.900 W.D 0.42 mm
150x N.A 0.900 W.D 0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 Watt
Robot and robot controller
Ceramic robot arm
Ceramic rotation arm
Macro unit (A): Wafer chuck
Macro movable uni
Slider assembly
Macro unit (B): Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit:
XY Stage / Chuck
X, Y, Z Drive units
Dart controller for image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard & trackball
Image capture board
SONY Camera: DXC-9XX/MD.
NIKON Optistation VII est un équipement avancé d'inspection des masques et plaquettes qui dispose d'une caméra intégrée à haute résolution, d'une optique ultra haute résolution, de techniques d'éclairage avancées et d'un logiciel sophistiqué. Optistation VII permet une inspection rapide, précise et non destructive des masques et plaquettes utilisés dans la fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs. Avec ses fonctionnalités avancées, NIKON Optistation VII offre un système complet d'inspection des masques et des plaquettes et de détection des défauts, anomalies et imperfections de motifs. Optistation VII est conçu pour l'inspection optique des métaux et des photomasques, avec un microscope spécialement conçu qui permet une vue de champ maximale de 10x et une résolution maximale de 20,4 μ m, pour assurer une inspection précise. Un spectrophotomètre de réflectance est intégré pour les mesures colorimétriques et NIKON Optistation VII est capable de détecter les plus légères irrégularités dans les réflexions de masques, les points saillants spéculaires et d'autres formes d'imperfections matérielles. Optistation VII dispose également d'une caméra de niveau wafer haute résolution, permettant l'examen des structures au niveau de précision de 16nm. La caméra dispose d'un capteur d'image CMOS avec un champ de vision de 3,8 mm de large et une résolution de 1,5 um, avec un débit maximum de 56Gbps. La caméra peut être ajustée à différentes distances de focalisation, permettant la meilleure résolution et l'éclairage du matériau étudié. L'unité d'inspection offre une variété de techniques d'éclairage avancées, y compris un éclairage polarisé, dispersé et oblique qui peut être utilisé pour étudier et analyser les plus petites caractéristiques possibles. NIKON Optistation VII est équipé d'un puissant logiciel de traitement d'image capable de détecter et de mesurer un large éventail de défauts tels que des trous d'épingle, des smudges, des lignes et des imperfections de motifs. Les défauts sont identifiés en temps réel et le logiciel peut créer un rapport détaillé avec analyse quantitative des défauts. Optistation VII fournit une puissante et flexible machine d'inspection de masque et de plaquettes pour un large éventail d'industries. Avec son optique haute résolution, ses méthodes d'éclairage avancées et son logiciel de détection et d'analyse des défauts, NIKON Optistation VII permet une inspection efficace des masques et des plaquettes avec une précision et une précision supérieures.
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