Occasion OSI VLS-1 #176092 à vendre en France
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ID: 176092
CD Measurement System
Includes chassis, cables, monitor and keyboard
Currently warehoused.
OSI VLS-1 est un équipement entièrement automatisé d'inspection en ligne des masques et des plaquettes, conçu pour des applications semi-conductrices exigeantes. Le système est capable de mesurer les paramètres optiques critiques des masques lithographiques tels que la détection de défauts, l'opacité, la réflectivité et le contraste. En outre, il est capable de détecter des défauts non lithographiques tels que contamination, micro-fissures et autres défauts à la surface de la plaquette. VLS-1 inspecte à la fois le masque et la plaquette, en utilisant des techniques d'illumination des champs lumineux et sombres. Il est équipé d'un moteur XY à 8 axes avancé et à haute résolution qui permet de positionner le masque avec précision en micron. La machine dispose également d'un amplificateur intégré et d'un microscope à balayage laser qui peut inspecter jusqu'à 256x256 microns de surface à une profondeur de champ jusqu'à 90 microns. La caméra CCD haute vitesse et haute performance permet à l'outil de détecter des défauts jusqu'à 0,1 micron de taille avec une très grande sensibilité. Le logiciel OSI VLS-1 est conçu pour le contrôle des processus et le contrôle autonome de l'opérateur. Il est intégré à une base de données qui permet aux utilisateurs de configurer les paramètres et d'enregistrer les résultats. L'interface logicielle est conviviale et intuitive, permettant une configuration et une analyse des données rapides et faciles. VLS-1 offre le niveau inégalé de précision et de sensibilité nécessaire pour les exigences critiques de production de masque et de plaquettes. Son interface intuitive et facile à utiliser permet un accès rapide aux résultats, offrant une flexibilité maximale pour le contrôle et l'optimisation des processus. Enfin, OSI VLS-1 offre aux utilisateurs une solution rentable pour améliorer le rendement des produits, augmenter le débit et réduire les coûts associés aux inspections des masques et des plaquettes.
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