Occasion PRISM VIT-128 #293587219 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293587219
Style Vintage: 2016
Visual inspection system
Type: Automatic
2016 vintage.
PRISM VIT-128 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes de pointe de la série PRISM développé par KLA-Tencor. Le système est capable de contrôler toute la gamme des masques et substrats utilisés dans la fabrication des circuits intégrés et est spécifiquement conçu pour permettre un débit ultra-élevé. Les puissantes capacités d'inspection de VIT-128 sont rendues possibles par la combinaison unique de technologies qu'il emploie. Au cœur, l'unité exploite une machine de projection nano-spot quadruple à haute résolution lui donnant une résolution de détection inférieure à 0,1 micromètre. Couplé à une caméra de 1,3 méga-pixel, l'outil est capable d'inspecter à la fois les projections et les images rétroéclairées des défauts du masque et de la plaquette en temps réel. En outre, l'actif présente une vitesse d'inspection impressionnante allant jusqu'à 100K wafers par heure et un taux de débit élevé de plus de 1 millions de wafers par mois. PRISM VIT-128 utilise des technologies d'imagerie brevetées telles que l'imagerie à quatre canaux à focale variable (FFT) et la scatterométrie à résolution spatiale (SRS) pour obtenir des résultats d'inspection précis, reproductibles et fiables. Ceci améliore la précision et la sensibilité du modèle pour détecter les défauts, réduisant ainsi le taux de fausses détections positives. En outre, l'équipement utilise des modes d'éclairage de champ lumineux, de champ noir et de champ lumineux atténué, permettant une meilleure visualisation des motifs de masque et de plaquettes pour inspecter une variété de couches et de substrats. VIT-128 fournit un examen automatisé et manuel des défauts puissant mais flexible, permettant une analyse approfondie et complète. Il comprend un examen puissant basé sur des plaquettes à l'aide d'un microscope XYZ, permettant une inspection précise des dispositifs complexes et la caractérisation précise de plusieurs types de défauts. De plus, le système comprend la technologie de cartographie de l'origine des défauts (DOM™) de KLA-Tencor, qui permet un contrôle et une précision accrus lors de l'identification des défauts et de leurs origines. Enfin, l'unité offre un accès en temps réel à la topographie des défauts grâce à l'utilisation de la machine d'imagerie KLA-Tencor TotalPrint™. Cela permet aux utilisateurs de capturer et stocker des images de défauts et de les utiliser pour d'autres analyses et examens. Grâce à la haute résolution des images, il est même possible de comparer les détections de défauts entre les différents postes d'inspection pour une validation technique ultérieure. Dans l'ensemble, PRISM VIT-128 est un outil très fiable et puissant d'inspection des masques et des plaquettes offrant des capacités de détection et de caractérisation des défauts sans pareils. Ses capacités d'imagerie haute résolution et de révision innovante des défauts lui permettent de détecter une variété de défauts avec une grande précision, assurant ainsi des circuits intégrés sans défaut.
Il n'y a pas encore de critiques