Occasion RUDOLPH / AUGUST AXI-935 #9275463 à vendre en France

ID: 9275463
Wafer inspection system.
RUDOLPH/AUGUST AXI-935 est un puissant équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour identifier et prévenir les défauts de production. Le système offre une gamme de fonctionnalités avancées, telles que l'imagerie sans contact à double faisceau, le balayage à grande vitesse des bords, le balayage des plaquettes à faible grossissement et la classification automatique des défauts. L'unité utilise un étage de plaquettes de 350 mm et est capable de mesurer des tailles de plaquettes allant jusqu'à 8 pouces de diamètre. La machine AXi est équipée de deux faisceaux - l'un pour le champ lumineux et l'autre pour l'imagerie en champ sombre - capables de produire des images à très haute résolution. Les poutres peuvent être ajustées pour effectuer des inspections à l'avant et à l'arrière de la plaquette. Cette fonctionnalité permet à l'outil d'identifier les défauts même au niveau nano-échelle. L'atout est également doté d'un modèle d'imagerie bas-fond, bas-kV qui lui permet de détecter les défauts subtils que les techniques d'imagerie traditionnelles ont pu manquer. Pour la classification des défauts, l'équipement AXi utilise un système de reconnaissance de motifs à grande vitesse. Cette technologie permet d'identifier et de classer même les défauts de surface les plus complexes avec une précision de pointage. L'unité offre également une reconnaissance automatisée des fonctionnalités, ce qui facilite l'identification rapide et précise des défauts reproductibles. En outre, la machine AXi dispose d'un outil de balayage des bords à grande vitesse qui peut mesurer avec précision les échantillons dans les axes x et y. Cela permet à l'actif de fournir une excellente précision dimensionnelle et de position. Un modèle de codeur très précis permet à l'équipement de suivre avec précision la position du masque et de calculer la taille et la forme exactes des défauts ainsi que la rugosité de la surface. Enfin, le système AXi dispose d'une interface utilisateur intuitive, permettant aux utilisateurs de personnaliser les paramètres et d'optimiser les performances de l'unité. Il offre également des dispositifs de sécurité améliorés pour protéger l'opérateur et les échantillons contre les dangers. Toutes ces caractéristiques font d'AUGUST AXI-935 une machine idéale pour détecter rapidement et de façon fiable les défauts sur les plaquettes et les masques.
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