Occasion RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293634919 à vendre en France

ID: 293634919
Wafer inspection system.
RUDOLPH/AUGUST AXI-S est un masque haute performance et un équipement d'inspection de plaquettes conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il combine une précision de balayage et de positionnement à grande vitesse avec une optique haute résolution avancée pour fournir un système fiable et robuste d'identification et d'inspection des défauts dans les masques et les plaquettes. L'unité est capable de détecter et de mesurer avec précision les défauts à ultra haute résolution, fournissant le plus haut niveau d'assurance de la qualité du masque et de la plaquette. AUGUST AXI-S dispose d'une machine d'éclairage 3D innovante dotée d'une caméra à haute vitesse. Sa vitesse maximale est jusqu'à 100 images par seconde et sa résolution maximale est jusqu'à 6 μ m. Son outil d'imagerie utilise la technologie d'imagerie omnidirectionnelle tridimensionnelle pour capturer des données de surface en plein champ. Ces données sont alors automatiquement analysées et corrélées aux informations d'identification des défauts, y compris les images SEM. L'actif offre également un chargement et un déchargement avant faciles des plaquettes et un large éventail de tailles de plaquettes, de 200mm à 8 pouces. En outre, le modèle a une capacité avancée d'inspection des défauts. Il est équipé d'un large éventail d'algorithmes de détection, y compris l'imagerie d'ombre, la détection de défauts visuels, la signature de surface, le traitement d'image et la reconnaissance de motifs extrêmes. L'équipement est également capable de fonctionner de façon autonome et peut être facilement intégré dans le flux de production existant et l'automatisation pour une plus grande efficacité. RUDOLPH AXI-S offre également de nombreuses fonctionnalités supplémentaires telles que le pré- et le post-traitement automatisé, la réduction précise des défauts et les capacités complètes d'analyse de fabrication des plaquettes. En outre, grâce à sa conception modulaire, il peut être facilement adapté aux besoins spécifiques des applications et des clients. Dans l'ensemble, AXI-S est un système fiable et puissant d'inspection des masques et des plaquettes, offrant des fonctionnalités et des capacités avancées qui permettent la plus haute assurance de qualité et de rendement avec la mise en œuvre du processus la plus efficace. Grâce à son optique haute vitesse, haute résolution et à ses algorithmes avancés de détection de défauts, il assure une fabrication de semi-conducteurs avec un maximum d'efficacité et de précision.
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