Occasion RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9248722 à vendre en France

RUDOLPH/AUGUST AXI-S est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour fournir des résultats efficaces et fiables. Il s'agit d'un outil complet qui combine la technologie d'imagerie haute résolution avec des outils avancés de reconnaissance des motifs et d'analyse des défauts pour fournir une inspection détaillée et précise. Le système utilise un microscope électronique à balayage (SEM) qui est capable d'agrandir la surface des plaquettes jusqu'à 3000x et est capable de supporter plusieurs résolutions d'images. Le masque et l'unité d'inspection des plaquettes sont équipés de deux systèmes optiques, l'un pour l'imagerie basse résolution et l'autre pour l'imagerie haute résolution. La machine d'imagerie basse résolution a une taille d'image jusqu'à 600 μ m × 600 μ m et peut agrandir la surface des plaquettes jusqu'à 3000x. L'outil d'imagerie haute résolution a une taille d'image allant jusqu'à 50 nm × 50 nm et peut agrandir la surface des plaquettes jusqu'à 2048x. L'actif d'inspection du masque et de la plaquette utilise un algorithme de reconnaissance des motifs conçu pour détecter les défauts microscopiques et mesurer leur taille et leur forme. Cet algorithme est capable d'effectuer des inspections de surfaces de plaquettes jusqu'à 1000 nanomètres et peut détecter des tailles de fonctionnalités jusqu'à 50 nanomètres. Le modèle est également capable d'analyser les défauts et de les distinguer des caractéristiques intentionnelles ou des structures. Le masque et l'équipement d'inspection des plaquettes disposent de deux outils avancés d'analyse des défauts. Le premier est un algorithme de classification des défauts qui permet une classification automatisée des défauts en fonction de la taille, de la forme et du type. Le second est un algorithme de mesure des défauts qui peut mesurer la fonctionnalité et les défauts de taille et de forme. Les deux algorithmes sont très précis et offrent un débit élevé pour des résultats efficaces. AUGUST AXI-S est un outil puissant pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il peut fournir des images détaillées de surfaces de plaquettes jusqu'à 3000x et peut détecter des tailles de fonctionnalités jusqu'à 50 nanomètres. Il a avancé les algorithmes de reconnaissance et d'analyse des défauts pour détecter avec précision les défauts microscopiques et les classer en fonction de leur forme. Il dispose également de deux outils d'analyse des défauts à haut débit pour analyser rapidement les défauts et fournir des résultats fiables.