Occasion RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9270934 à vendre en France

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 9270934
Wafer inspection system 2004 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-S est un équipement complet d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. Ce système de pointe utilise une combinaison unique d'imagerie optique automatisée, de spectroscopie de fluorescence aux rayons X, de surveillance statistique des processus et d'analyse automatisée des défauts pour fournir une inspection et une évaluation à haute résolution des structures d'IC critiques. Le composant d'imagerie optique automatisé de l'unité utilise une combinaison de techniques d'imagerie lumineuse, oblique et axiale pour analyser les caractéristiques d'IC avec une haute résolution et précision. Cela garantit que même les images ou les motifs des caractéristiques sont visibles pour une inspection et une analyse immédiates. De plus, les capacités de spectroscopie de fluorescence X de la machine fournissent des informations détaillées sur la composition élémentaire des caractéristiques du dispositif. Ceci est bénéfique pour évaluer la présence de lignes métalliques à double damascène, de tranchées, de gravures, de composition d'alliage métallique et de toute autre caractéristique structurelle pouvant influer sur les performances du dispositif. En plus de l'imagerie optique et de la spectroscopie de fluorescence aux rayons X, AUGUST AXI-S fournit également un puissant suivi statistique des processus. Cela lui permet de saisir, stocker et analyser plus de 60 paramètres de données d'assurance de la qualité. Cela facilite le repérage, le suivi et l'analyse des tendances des paramètres de l'appareil. Grâce à cette capacité, les problèmes potentiels peuvent être rapidement identifiés et résolus avant qu'un impact important sur la qualité ou la fiabilité des produits ne se produise. Enfin, les fonctions automatisées d'analyse des défauts de l'outil permettent des cycles de test plus courts et un débit plus élevé. L'actif détecte des variations subtiles dans les images, les motifs et les caractéristiques structurelles qui sont indicatives de défauts potentiels. Le modèle utilise ensuite son analyse approfondie pour identifier les points de défaillance communs à un appareil et recommander immédiatement des mesures correctives. RUDOLPH AXI-S est un équipement puissant, polyvalent et précis d'inspection des masques et des plaquettes qui permet de détecter efficacement les variations subtiles des structures IC. La combinaison de l'imagerie optique, de la spectroscopie de fluorescence aux rayons X, de la surveillance statistique des processus et de l'analyse automatisée des défauts garantit que les appareils sont de qualité supérieure et de grande fiabilité. Avec l'utilisation de ce système, les fabricants de semi-conducteurs peuvent garantir des produits IC toujours fiables.
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