Occasion RUDOLPH / AUGUST NSX 105C #9273802 à vendre en France
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ID: 9273802
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2007
Inspection system, 8"
BROOKS (Robot and aligner)
Type C
(2) Load ports
2007 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105C est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes pour les environnements de fabrication de semi-conducteurs. Il combine l'imagerie optique et radiographique, la mesure automatisée des dimensions critiques, la détection des défauts et l'analyse des rendements avec un débit plus élevé et une précision améliorée. Le système est conçu pour analyser rapidement les caractéristiques critiques des défauts sur les masques, les plaquettes et les substrats. Il utilise une puissante unité d'imagerie optique qui utilise à la fois l'imagerie à dispositif couplé chargé (CCD) et l'éclairage de champ lumineux avancé. Cela permet à la machine de détecter de très petites tailles de défauts jusqu'à 1 μ m. De plus, l'outil intègre des technologies d'imagerie optique et radiographique pour examiner à la fois les défauts de surface et les défauts embarqués sur les masques et les plaquettes. Le matériel d'inspection des plaquettes comprend la mesure automatisée des dimensions critiques (CD) de résolution sous-micron, la détection des défauts basée sur l'image et l'analyse des rendements. Cette combinaison de matériel permet une inspection et une analyse des défauts en temps réel et précise d'une grande variété de tailles de puces et de niveaux de complexité. L'actif comprend une chambre de chargement sous vide pour assurer la propreté des mesures répétables et précises. L'interface logicielle et l'analyse de données personnalisables font d'AUGUST NSX-105C un modèle idéal pour une variété de fins de production et de recherche. Ce logiciel offre à l'utilisateur une visibilité sur la métrologie, l'inspection des défauts et les résultats de caractérisation en temps réel. En outre, l'utilisateur peut personnaliser les données de l'équipement pour répondre à des besoins de production spécifiques. En outre, le système offre une navigation et un contrôle simples et rapides à partir d'une interface tactile. Dans l'ensemble, le masque RUDOLPH NSX 105 C et l'unité d'inspection des plaquettes combinent les dernières technologies optiques et radiographiques pour fournir une analyse puissante et complète pour diverses applications de fabrication de semi-conducteurs. Sa capacité d'imagerie optique haute résolution, la mesure automatisée des dimensions critiques, la détection des défauts et l'analyse des rendements offrent une solution sophistiquée, mais conviviale pour les fabricants de dispositifs semi-conducteurs.
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