Occasion RUDOLPH / AUGUST NSX 3DI AXI / UltraPort5 #9233701 à vendre en France
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ID: 9233701
Style Vintage: 2006
Automated wafer handling station
GENMARK Robot GB8-MT-80040670
Aligner
Power supply: 200 VAC, 50/60 Hz, 5 A
2006 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 3DI AXI/ UltraPort5 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu spécifiquement pour les applications de balisage haute résolution dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet instrument peut détecter des défauts dans les motifs gravés sur les tranches de masque et les plaquettes avec une précision et une répétabilité inégalées. L'architecture 3DI utilise l'optique avancée pour obtenir un réglage dynamique de l'angle d'imagerie jusqu'à 5 ° entre la source lumineuse et le plan d'image - permettant une inspection précise des motifs avec des angles supérieurs jusqu'à 80 °. Ce système a une vitesse de détection allant jusqu'à 5 μ m à 3 σ pour les défauts résultant des procédés de photolithographie, permettant de détecter même les défauts les plus infimes. L'unité d'éclairage photo-vide exclusive permet également de réduire considérablement les fluctuations des images des caméras causées par la poussière de particules. AUGUST NSX 3DI AXI/ UltraPort5 dispose d'une interface utilisateur intuitive qui le rend facile à utiliser et à contrôler, tandis que sa conception modulaire permet d'adapter la machine aux besoins spécifiques du client. RUDOLPH NSX 3DI AXI/ UltraPort5 intègre également un outil innovant et robuste d'enregistrement des plaquettes, avec positionnement et orientation automatiques des échantillons. Cet actif garantit que chaque inspection est effectuée avec précision et reproductibilité, tout en anticipant les effets de flambage des plaquettes. Le modèle fournit également un mode « film » optionnel, qui permet l'inspection des cibles mobiles, comme les grappes de défauts dynamiques, par opposition aux modèles de défauts statiques. En outre, cet équipement offre un composant Electron Beam Inspection qui augmente considérablement la couverture de défaut du 3DI AXI/ UltraPort5. Cette fonctionnalité permet aux fabricants d'inspecter des ensembles entiers de masques et de plaquettes en quelques secondes, augmentant le débit et réduisant les coûts. La puissance de traitement supérieure du 3DI AXI/UltraPort5 permet de cartographier et d'examiner simultanément jusqu'à quatre plaquettes, tandis que ses grands écrans LED 7,5 offrent une interface d'imagerie claire pour identifier facilement les défauts. NSX 3DI AXI/ UltraPort5 est une combinaison idéale de technologie de pointe et de conception intuitive pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il est capable de détecter de minuscules défauts avec une précision sans précédent, tandis que sa conception modulaire et son interface intuitive rendent ce système non seulement simple à utiliser et à entretenir, mais aussi très économique.
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