Occasion RUDOLPH / AUGUST WV320 #293587810 à vendre en France

RUDOLPH/AUGUST WV320 est un équipement révolutionnaire et intégré d'inspection des masques et des plaquettes. Le système se compose d'une tête d'inspection optique unique à base d'interféromètre qui est montée sur un étage de balayage de haute précision contrôlé par CNC. L'étage de balayage est piloté par ordinateur et peut se déplacer jusqu'à trois axes indépendants. Chaque axe est capable de translater la tête jusqu'à 5 millimètres dans les directions x, y et z. L'unité utilise un interféromètre à l'état solide constitué d'une source lumineuse, d'une lentille, d'un oculaire et d'un cube de polarisation. Le cube de polarisation est utilisé pour diriger la lumière vers et depuis la surface du masque ou de la plaquette à inspecter. La lumière réfléchie hors de la surface est recueillie par l'objectif, permettant l'acquisition d'image. La machine AUGUST WV320 peut inspecter les plaquettes et masques plats et courbes avec une grande précision. L'outil est conçu pour des inspections de sous-microns avec une résolution mesurable de 0,25 microns. La vitesse d'inspection est réglable de 0,5 à 3,5 Hz, en fonction de la taille de la plaquette ou du masque inspecté. L'actif peut détecter des défauts allant de l'arrondi, la fissuration, l'écaillage et les défaillances des parois latérales, à l'usure excessive de la plaque de couverture en verre. Le modèle peut également mesurer des caractéristiques telles que la géométrie du flanc, la taille et le pas des trous, les micro-vias, les pistes, les grilles et d'autres caractéristiques. En plus des défauts et des mesures de caractéristiques, l'équipement a la capacité unique de fournir des données binaires quantitatives et statistiques. Ceci est particulièrement bénéfique lors de l'évaluation des motifs dispersés. Le système est également équipé d'un logiciel spécialisé lui permettant de détecter les défauts de distribution et d'autres caractéristiques lors de l'inspection d'un échantillon. Le logiciel dispose également de routines de calibrage automatique pour une détection plus rapide des défauts. RUDOLPH WV 320 est une machine d'inspection fiable et conviviale pour les applications de plaquettes et de masques. Il permet une détection rapide, précise et répétable des défauts et des mesures de caractéristiques avec une résolution adaptée à toutes les applications de semi-conducteurs. Le logiciel de l'outil d'inspection ajoute la capacité d'identifier facilement les distributions de défauts et les modèles complexes, faisant du WV 320 un choix idéal pour l'industrie des semi-conducteurs exigeante d'aujourd'hui.