Occasion RUDOLPH AXI-935D #9385106 à vendre en France

ID: 9385106
Style Vintage: 2007
Macro defect inspection system 2007 vintage.
RUDOLPH AXI-935D est un équipement d'inspection de masque et de wafer de pointe conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. C'est un système complet qui aide à détecter et à analyser les défauts sur les masques et les plaquettes. L'unité comprend divers composants tels que des systèmes de lentilles, des microscopes interférométriques laser et d'autres optiques qui aident à capturer et à analyser des images à haute résolution. La machine est équipée d'étages de mouvement de précision qui peuvent déplacer le masque ou la plaquette soit mécaniquement, soit via une alimentation motorisée. Il équipe également un étage qui peut faire tourner les objets pour l'imagerie à 360 degrés. L'outil est conçu pour supporter à la fois l'imagerie 2D traditionnelle et l'imagerie 3D avancée. Il permet une large gamme de méthodes d'acquisition d'images telles que la réflexion interne totale, l'épi-illumination, le champ sombre et la visualisation oblique, et est capable d'acquérir des images à 10nm de résolution. Les sous-systèmes de RUDOLPH AXI 935D sont conçus pour analyser les défauts et les comparer à une « image dorée » acquise précédemment afin d'identifier les zones touchées. Il peut détecter des défauts jusqu'à 0,2 micron de taille, et peut fournir des informations précises et fiables sur des défauts tels que la taille, le rapport d'aspect, le contraste et l'intensité. AXI 935 D comprend également un ensemble complet d'outils de traitement d'image pour analyser les données d'image et extraire les paramètres critiques de défaut. Ces outils permettent d'identifier les défauts et de les isoler des limitations de fond. Il peut également être utilisé pour identifier les défauts de processus, déterminer les pertes de rendement, et identifier les défauts critiques qui peuvent causer la défaillance de processus. En outre, l'actif peut être personnalisé pour répondre aux exigences spécifiques de l'application en ajoutant des fonctionnalités telles que le filtrage avancé des défauts, la classification des défauts et la reconnaissance avancée des motifs. Le modèle est également modulaire et peut être facilement mis à niveau avec des composants supplémentaires tels que des lentilles de grossissement plus élevé, ou des optiques interchangeables. En résumé, AXI-935D est un équipement fiable et polyvalent d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour garantir la plus grande précision et productivité dans l'inspection des masques et des plaquettes. Il est hautement configurable, facilement évolutif et capable de fournir une analyse détaillée et précise des défauts.
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