Occasion RUDOLPH SWS #9378745 à vendre en France
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RUDOLPH SWS est un système d'inspection des masques et plaquettes de pointe de RUDOLPH Technologies, Inc. Le système est conçu pour être utilisé dans les fabriques de semi-conducteurs où il fournit une solution automatisée à la tâche difficile de masque et d'inspection des plaquettes. SWS combine l'éclairage et l'optique sophistiqués avec des algorithmes logiciels avancés pour détecter les imperfections dans les plaquettes ou les masques qui pourraient potentiellement conduire à des problèmes de rendement pendant le processus de fabrication. La première étape du processus d'inspection des masques et plaquettes est un balayage des plaquettes, qui utilise un bras robotique pour positionner rapidement et avec précision une caméra sur la surface d'une plaquette tout en recueillant simultanément des données telles que la réflectance, la topographie de surface et l'énergie de liaison entre la surface et le masque. Ce balayage initial de la plaquette produit une carte détaillée qui peut être utilisée pour détecter d'éventuels défauts en surface. La deuxième étape du processus d'inspection du masque et de la plaquette vérifie les masques eux-mêmes pour déceler les défauts ou irrégularités. Le masque est placé face-à-face sur une table et une caméra spécialisée scanne l'image pour toute anomalie. Cela se fait avec un mélange de lumière réfléchie et de microscopie pour s'assurer que même la plus grande minute d'imperfections est détectée. La troisième phase du processus d'inspection du masque et de la plaquette implique la comparaison entre le masque et la plaquette proprement dite. RUDOLPH SWS utilise des algorithmes logiciels sophistiqués pour comparer les deux images et détecter tout écart entre ce à quoi le masque devrait ressembler et ce à quoi la plaquette réelle ressemble. Si des écarts sont constatés, le SWS est en mesure de mettre en évidence la faute et d'aviser les inspecteurs-ressources humaines qui doivent faire l'objet d'une attention particulière. Enfin, la quatrième phase de l'inspection du masque et de la plaquette implique l'examen des résultats. RUDOLPH SWS est en mesure de générer des rapports 3D détaillés du processus d'inspection des masques et plaquettes, donnant un aperçu détaillé de tous les problèmes qui ont été identifiés. Cela aide les inspecteurs humains à cerner rapidement les problèmes qu'ils pourraient devoir régler, ce qui leur permet de mieux comprendre le processus de fabrication et d'améliorer les rendements. SWS est un système impressionnant qui permet aux fabricants de semi-conducteurs d'automatiser leurs processus d'inspection des masques et des plaquettes et d'obtenir une vue d'ensemble d'une plaquette entière avec un degré de précision beaucoup plus élevé que les inspections manuelles. Cela offre une excellente occasion d'optimiser les procédés de fabrication et d'améliorer les rendements.
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