Occasion RUDOLPH WV 320 #9248814 à vendre en France

ID: 9248814
Taille de la plaquette: 12"
Macro defect inspection system, 12" (2) BROOKS Loadports with FOUP Loadports carrier reader: RFID Type YASKAWA Robot Light source: Head: 20 um Xenon flash lamps Wavelength range: 480-750 nm Resolution: Above 25 um Function: YVS Server 3D Defect image generation Auto Defect Classification (ADC) function.
RUDOLPH WV 320 est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes, garantissant que des images 3D haute précision et haute résolution sont disponibles pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il est équipé d'une optique avancée et d'un ensemble d'éléments macro et micro-imagerie qui peuvent être utilisés pour inspecter une grande variété de géométries de masque et de plaquettes. L'unité optique avancée du système comprend un mécanisme de zoom automatisé et des filtres de polarisation, qui sont entièrement réglables et peuvent être utilisés pour détecter des défauts subtils et examiner des particules de sous-microns ou des géométries de circuit. Sa machine d'imagerie 3D sophistiquée capture les résultats à haute résolution des zones d'inspection jusqu'à 17 mm de taille. Grâce à ses puissantes fonctions de traitement et d'analyse d'images, RUDOLPH WV320 peut détecter et mesurer des défauts subtils, tels que des micro-trous, des rayures et des particules étrangères, avec une précision maximale de 10nm. Avec sa fonction d'alignement de plaquettes intégrée, il peut également aligner les échantillons avec précision lors de l'inspection de plusieurs sections de plaquettes en même temps. En outre, WV 320 dispose également de plusieurs fonctionnalités avancées qui permettent une inspection efficace et rapide du masque. Il est compatible avec la plupart des systèmes CAO standard de l'industrie et peut générer des modèles 3D haute fidélité à partir de scans de ligne afin d'inspecter de grands masques et des structures complexes. L'outil peut être équipé d'un atout laser iScan, capable de générer 256 balayages laser sans contact par seconde, permettant un balayage et une imagerie 3D à haut débit. De plus, l'équipement de suivi dynamique des images (DITS) du modèle peut ajuster les paramètres de focalisation et d'exposition pendant l'inspection du masque pour maintenir une qualité d'image constante. Un masque combiné et système d'inspection des plaquettes, WV320 offre d'excellentes performances, fiabilité et précision. Il fournit aux utilisateurs des mesures jusqu'à 3C, un meilleur contrôle des processus et une analyse complète pour améliorer le rendement et la qualité. C'est le choix idéal pour les clients qui exigent précision et répétabilité dans leurs inspections de masque et de plaquettes.
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