Occasion SDI SPV / PDM 3020-P #138848 à vendre en France

SDI SPV/PDM 3020-P Mask & Wafer Inspection Equipment est un outil automatisé complet optimisé pour l'inspection des plaquettes de silicium au niveau des photomasques. Le système est conçu pour fournir une précision et une précision inégalées dans la détection des défauts, tels que la rugosité du bord de ligne et les micro-shorts, sur les plaquettes de silicium. SPV/PDM 3020-P peut mesurer avec précision la topographie des plaquettes, les cibles de recouvrement et surveiller les variations des processus de lithographie. L'unité offre des fonctionnalités avancées incluant la mesure automatisée des dimensions critiques (CD), l'identification automatisée des défauts et l'isolation automatique des défauts avec interférométrie laser. Ces caractéristiques permettent un meilleur contrôle du procédé et un meilleur rendement. SDI SPV/PDM 3020-P peut détecter un large éventail de défauts, tels que la rugosité des bords de ligne, les encoches des tirants de bord, les variations de champ de masque, le décalage des motifs, le désalignement, d'autres déformations de forme, et les micro-shorts. La machine a été construite avec un certain nombre d'avantages pour soutenir la surveillance des processus liés au masque. Par exemple, le 3020-P prend en charge le traitement en ligne et post-wafer avec une variété de logiciels. Cela permet une évaluation rapide de l'écart des processus de lithographie, de la superposition exacte et de la mesure des dimensions critiques. Il comprend également des algorithmes de contrôle uniques pour différents types de masques, y compris la couche de dimension critique, la couche CD locale, la correspondance et la superposition précises des fonctionnalités, la dimension critique haute énergie SAR (Signal to Noise Ratio) et le CD optique haute précision. SPV/PDM 3020-P a été conçu pour fournir une métrologie à très haute résolution, jusqu'à 90nm. Il a un débit élevé, lui permettant d'inspecter jusqu'à deux plaquettes par heure, et supporte une taille maximale de plaquette de 300mm. L'outil est également très efficace, nécessitant une intervention minimale de l'opérateur et doté d'une interface intuitive pour un fonctionnement facile. Le 3020-P est idéal pour les environnements de production, les magasins de masques et les applications de recherche et développement. L'actif est également de taille compacte, ne pesant que 250 kg, et est très fiable avec une MTBF de 5000 heures. Sa plage de température de fonctionnement peut être ajustée de 18 à 28 ° C et son humidité de 10 à 90 %. En fin de compte, SDI SPV/PDM 3020-P offre d'excellentes performances, un fonctionnement facile et une grande efficacité, ce qui en fait un excellent choix pour la production automatisée de photomasques fine ligne avec la plus grande précision.