Occasion SEMILAB / SDI FAAST 330A #9382822 à vendre en France
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ID: 9382822
Style Vintage: 2004
Measuring system
Surface Photo Voltage (SPV)
Does not include robot
Optic signal device non functional
2004 vintage.
SEMILAB/SDI FAAST 330A est un équipement d'inspection des masques et plaquettes de pointe, conçu pour l'inspection automatisée des plaquettes et la mesure ultérieure. Le logiciel automatisé de pointe aide à identifier et localiser les zones problématiques sur les plaquettes et les masques, dans différentes géométries, à une résolution nanométrique. Le système est équipé de deux caméras CCD verticales, offrant un contraste d'image inégalé et une résolution de capture d'image. Ces caméras sont également configurées pour capturer des images à différentes échelles (3-5µm/pixel) pour inspecter différents types de structures. Cela permet à l'opérateur de passer facilement de l'inspection de petites structures à celle de grandes structures. L'unité comprend également deux capteurs de mesure verticaux. Les capteurs sont disponibles en deux niveaux de résolution (jusqu'à 0,4 µm et 1,2 µm, respectivement). Ils sont utilisés pour mesurer avec précision les géométries verticales des structures inspectées. En outre, la mesure de l'inclinaison de la structure est également disponible, avec une résolution de 0,1 °. L'alignement optique précis de SDI FAAST 330A permet un alignement facile et rapide du recouvrement des plaquettes, ainsi qu'une capture et une mesure simultanées. L'outil d'alignement automatique de la plaquette assure que toutes les images capturées sont alignées avec précision avec la plaquette. En outre, la machine comprend également le logiciel DMPC (Data Management and Process Control). Ce logiciel de pointe simplifie les processus d'inspection et d'édition en permettant aux opérateurs de contrôler l'ensemble des processus de l'outil à partir d'un seul point de contrôle. Enfin, SEMILAB FAAST 330A dispose d'un actif d'auto-étalonnage intégré qui vérifie l'exactitude du modèle et fournit des commentaires sur tout problème potentiel. La rétroaction est ensuite utilisée pour créer un rapport complet avec tous les paramètres qui doivent être ajustés afin de maintenir une précision optimale. FAAST 330A est un équipement fiable et complet d'inspection des masques et plaquettes. Ses fonctions automatisées et précises en font un choix idéal pour l'inspection professionnelle des masques et des plaquettes dans de multiples géométries et matériaux.
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