Occasion SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9236853 à vendre en France

SEMILAB/SDI FAaSt 350 est un équipement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes qui utilise des techniques avancées de microscopie et d'imagerie optique pour détecter les défauts et les variations dans la fabrication des IC. Le système est capable d'inspecter les masques de lithographie, les plaquettes et les réticules avec des résolutions allant jusqu'à un sous-micron. Il est adapté à un large éventail d'applications, y compris le polissage des masques et des plaquettes, ainsi que la mesure et l'analyse de haute précision des caractéristiques de géométrie et de dimensionnement. L'unité se compose d'une unité de contrôle informatique et d'une machine d'imagerie numérique, avec un étage mobile pouvant accueillir des échantillons jusqu'à 350 mm de diamètre. L'outil d'imagerie comprend des techniques optiques avancées telles que l'interférométrie laser verte et l'imagerie laser rouge-vert-bleu. Cela permet une inspection non invasive des matériaux de masque et de plaquette, et une analyse 3D précise de la surface. L'actif est également équipé d'un microscope confocal, permettant la détection et la mesure automatisées des caractéristiques micro et nano-échelle. Pour la mesure de motifs, le SDI FAaSt 350 comprend également un interféromètre optique pour la mesure de motifs de haute précision, capable de détecter des variations de largeur ou de hauteur d'environ 40 nm avec une résolution inférieure à 10 nm. De plus, le modèle est capable de mesurer d'autres caractéristiques dimensionnelles avec un degré élevé de précision et de vitesse. SEMILAB FAaSt 350 est intégré au logiciel d'inspection SDI SP3D, permettant une caractérisation rapide et efficace des défauts. L'équipement est également compatible avec plusieurs algorithmes d'adaptation de motifs et une gamme de protocoles d'analyse de microscopie optique, permettant une automatisation efficace des processus. En outre, le système peut être utilisé pour les processus de réparation et de masquage des défauts, et comprend une interface sécurisée, très efficace et conviviale qui peut être fusionnée avec les outils CAO, SEM et PLM. En conclusion, le FAaSt 350 est un masque et une unité d'inspection des plaquettes évolués et fiables, capable de détecter les défauts et les variations fines grâce à des techniques d'imagerie optique avancées. La machine est adaptée à l'inspection des masques et des plaquettes, et peut être utilisée de manière polyvalente pour une gamme de processus de métrologie et d'inspection. Le logiciel d'inspection SP3D et les capacités de mesure de motifs de haute précision font de cet outil une solution idéale pour la numérisation, l'inspection et l'analyse des masques et des plaquettes.