Occasion SEMILAB / SDI PV-2000A #9389454 à vendre en France
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SEMILAB/SDI PV-2000A est un équipement automatisé d'inspection des masques et plaquettes commandé par ordinateur conçu pour répondre aux exigences avancées de l'inspection critique de photolithographie. La plate-forme SDI PV-2000A effectue des contrôles optiques et des tests électriques. C'est un système à haut débit qui peut simultanément inspecter et tester jusqu'à 2000 plaquettes ou masques par heure. La machine permet une inspection approfondie des caractéristiques des photomasques et des plaquettes, telles que les trous de contact, les largeurs de ligne, la précision de recouvrement et les défauts de profil de gravure. SEMILAB PV-2000A est équipé d'une unité de projection laser haute résolution de 6 « x6 », d'une machine de vision très précise et d'algorithmes avancés de traitement d'images. L'outil effectue CEMI (Contrast Estimation Mode Interferometry) pour une inspection de tranche d'interférence laser, basé sur le profil d'intensité de champ lumineux des franges d'interférence. L'actif fait un diagramme d'interférence en combinant des ondes de lumière et de rayonnement provenant d'une source de lumière anti-cohérente (lumière diffusée à partir de deux faisceaux laser), et compare le diagramme aux paramètres prédéfinis. Lorsqu'un défaut est constaté, la précision des mesures effectuées avec le capteur de pixel intégré permet une évaluation de sous-microns. Les procédés avancés de détection de taches optiques de PV-2000A sont capables de détecter même les plus petits défauts de surface. La machine est également équipée d'algorithmes de reconnaissance de motifs automatisés et de recherche intelligente, ce qui permet de rechercher, détecter et caractériser rapidement les défauts. En outre, le modèle est équipé d'un module de mise au point automatique, assurant une détection fiable des trous de contact jusqu'à une précision de 1 micron. L'équipement dispose également d'un système de test électrique automatisé intégré qui effectue divers tests, tels que la résistance, la capacité et la tension de claquage. L'unité de test électrique automatisée utilise des sondes de contact pressées et un harnais de test dédié pour effectuer des tests exceptionnellement rapides et de haute précision. SEMILAB/SDI PV-2000A est une machine entièrement automatisée qui simplifie le processus d'inspection et augmente considérablement le débit avec une intervention manuelle minimale. L'outil autonome est entièrement compatible avec de nombreux types d'équipements de fabrication de plaquettes, tels que le fileur de résistance, le graveur à plasma et le moulage par injection.
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