Occasion SEMILAB / SDI WT-2000 #9259516 à vendre en France
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SEMILAB/SDI WT-2000 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu dans le but de fournir des capacités d'inspection pour les applications de lithographie et de métrologie. Il est conçu pour inspecter, échantillonner et mesurer les plaquettes et les masques avec une grande précision et répétabilité. Ce système comprend une unité optique à double tête, une machine de contrôle propriétaire, et un logiciel d'analyse d'image propriétaire avancé. L'outil d'inspection du masque et de la plaquette est équipé d'une caméra CCD 1k x 1k et d'une commande d'éclairage à double tête qui assure un éclairage uniforme de la surface de la plaquette et du masque. L'actif est capable d'inspecter l'ensemble de la plaquette en une seule passe avec une grande précision. De plus, le modèle fonctionne dans un état d'éclairage impulsionnel pour compenser les petites différences de topographie de surface, produisant ainsi des résultats cohérents pour l'ensemble de la plaquette. Le logiciel avancé d'analyse d'image permet de détecter les défauts, tels que la dimension critique et les erreurs d'exposition, tout en détectant les variations dans la structure de la plaquette. Il combine une analyse complète des plaquettes avec une analyse isolée des zones critiques, assurant ainsi une inspection exhaustive des défauts. En outre, l'équipement automatisé haut de gamme de détection de défauts permet au système de détecter des défauts subtils et isolés de plaquettes qui sont par ailleurs difficiles à identifier. L'unité de commande exclusive permet à l'opérateur de contrôler la caméra, l'éclairage, la position de l'étage et la machine optique dans un matériel unique et unifié. Il permet également l'intégration avec des systèmes externes de contrôle des processus statistiques et d'acquisition de données, permettant ainsi une analyse rapide des données des plaquettes et des masques. En outre, l'outil peut s'intégrer avec des traceurs de plaquettes, assurant un suivi précis de la plaquette au fur et à mesure de son passage dans la machine. En résumé, SDI WT-2000 est un masque complet de haute précision et un outil d'inspection des plaquettes. Il est conçu pour inspecter, échantillonner et mesurer les plaquettes et les masques avec précision et répétabilité, tandis que son logiciel d'analyse d'image avancé et son modèle de contrôle propriétaire assurent une intégration homogène avec les systèmes externes de contrôle des processus statistiques et d'acquisition de données. De plus, l'équipement fonctionne dans un état d'éclairage impulsionnel pour compenser les petites différences de topographie de surface, assurant des résultats cohérents et reproductibles pour l'ensemble de la plaquette.
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