Occasion TOPCON WM 2500 #9239634 à vendre en France
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ID: 9239634
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2001
Wafer particle inspection system, 6"
2001 vintage.
TOPCON WM 2500 est un équipement d'inspection de masques et plaquettes conçu pour effectuer la métrologie 2D et 3D et la détection des défauts sur les plaquettes semi-conductrices. Le système est une unité d'inspection entièrement automatisée et ultra-précise qui permet une grande précision et un débit rapide avec une large gamme de capacités de détection de défauts. La machine combine un étage XYZ motorisé de haute qualité, une optique High-NA avancée et une fonction de cartographie automatique des plaquettes pour empêcher tout faux enregistrement du mouvement des plaquettes. L'outil d'inspection est capable de détecter une grande variété de défauts, tels que des nodules, des fosses, des vides, des rayures, des dos de traction et d'autres caractéristiques non idéales telles que des encoches de dérive ou des particules sur la surface de la plaquette. Le WM 2500 est équipé d'une caméra de 5 mégapixels qui permet une imagerie en profondeur haute résolution avec une résolution maximale de 2,5 microns. Une variété de tailles de plaquettes de 4 « à 8 » peut être facilement accueilli grâce à l'axe Z motorisé. Il permet l'inspection de plaquettes d'épaisseurs variables. Ceci est particulièrement utile lors de l'inspection de grandes plaquettes qui nécessitent des grossissements supplémentaires pour inspecter divers défauts. La fonction de cartographie automatisée couplée au logiciel de l'actif assure un enregistrement précis de la position et du mouvement de la plaquette à chaque exposition. Le modèle est supporté par un logiciel robuste qui vérifie automatiquement l'ensemble de la surface de la plaquette permettant de détecter rapidement toutes les caractéristiques latérales avant ou arrière non idéales. Le logiciel est convivial et permet un contrôle infini sur les processus automatisés, rendant l'équipement très polyvalent et efficace. Le système peut facilement être intégré dans des environnements de salle blanche et est entièrement alimenté et auto-centrage. En outre, l'unité peut être exploitée avec n'importe quel ordinateur portable standard et dispose d'une machine intégrée complète d'enregistrement des données. TOPCON WM 2500 fournit une solution fiable et précise pour les besoins d'inspection des plaquettes. Cet outil automatisé assure une détection rapide et précise de toutes les caractéristiques non idéales sur les plaquettes semi-conductrices, ce qui en fait le choix idéal pour tout environnement de fabrication.
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