Occasion ZEISS / ACCRETECH / TSK RONCOM 55A #9118660 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9118660
Style Vintage: 2002
Form tester
Measuring range:
Max. measuring diameter: 350mm
Left/right feed (R-axis): 191mm
Up/down feed (Z-axis): 350mm
Max. load diameter: 600mm
Max. measuring height: outer diameter 350mm (675mm for roundness/coaxiality measurement), inner diameter 350mm
Rotation accuracy:
JIS B7451: (0.02 + 6H/10000)um H: height from table surface to measuring point (mm)
Max. deviation from min. square circle: (0.01 + 3H/10000)um
Straightness accuracy:
Up/down direction (Z-axis): 0.15um/100mm, 0.3um/350mm
Radius direction (R-axis): 1um/100mm
Parallelness accuracy:
Up/down direction (Z-axis): 1.5um/350mm
Rotation speed:
Measurement: 2-10/min
Alignment: 6, 10 or 20/min
Up/down speed (Z-axis):
Measuring speed: 0.6-6.0mm
Movement speed: 0.6-30.0mm
Radius speed (R-axis)
Measuring speed: 0.6-6.0mm
Movement speed: 0.6-15mm
Auto stop:
Function: Z-axis, R-axis
Stop accuracy: Z-axis +/-5um, R-axis +/-5um
Table load conditions:
Table outer diameter: 290mm
Centering adjustment range: +/-5mm (automatic)
Tiling adjustment range: +/-1° (automatic)
Detector:
Measuring force: 30-100mN
Stylus shape: 1.6mm carbide ball
Roundness evaluation of profile error:
MZC (min. range center line method), LSC (min. square center line method), MIC (max. inscribed circle center line method)
MCC (min. circumscribed circle center line), N.C. (no correction)
Measuring items:
Rotation direction: roundness, flatness, parallelness, concentricity, coaxiality, cylindricity, diameter deviation, non-uniformity, squareness, run-out
Rectilinear direction (Z): straightness, taper, cylindricity, squareness, paralleness
Radius direction (R): straightness
Functions: CN measuring function, notch function (level, angle, cursor), parameter design value collation
Types of filters: digital (2RC, Gaussian)
Cut-off value:
Rotation direction: 15, 50, 150, 500, 15-150, 15-500 peaks/rotation
Rectilinear direction (Z): 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5 or 8mm
Display:
Monitor: 15" Color
Content: measuring conditions, measuring parameters, profile drawing (expansion plan, 3D plan, shading), printer output conditions, comments, error message, etc.
Recording unit:
Method: select color printer or laser printer
Magnification: 10-200K (22 steps), auto, measuring magnification
Power source: AC 100V, 50/60Hz
Power consumption: 800VA (not including printer)
Air source: 0.5 - 0.7MPa
Air consumption: 30 l/min
(1) Reference sphere
(1) Reference cylinder
(2) Reference gauge blocks
Computer & monitor
Currently installed in cleanroom
2002 vintage.
ZEISS/ACCRETECH/TSK RONCOM 55A est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes de pointe conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système offre une excellente résolution d'image, une grande sensibilité et une unité d'examen automatisé des défauts (ADRS). La machine de base se compose d'un étage x/y motorisé, d'un gestionnaire automatisé de plaquettes, d'une tête de microscope et d'une source lumineuse. L'outil est capbable des inspections 1x et 10x. La tête de microscope dispose d'un atout optique corrigé à l'infini 10x qui donne d'excellentes performances d'imagerie avec champ de vision plat à la fois dans le champ lumineux et l'éclairage du champ sombre. La source lumineuse est hautement ligetstable et dispose d'une capacité de sortie de 40 klux. Avec une roue filtrante motorisée, cela permet une inspection spécifique à l'application des défauts tels que les rayures, les particules, les pièges à charges, les défauts de motif et plus encore. Le modèle offre également Automatic Defect Review Equipment (ADRS), un algorithme avancé basé sur l'intelligence artificielle qui permet l'inspection automatisée des défauts avec une excellente fiabilité. Les résultats du système peuvent être exportés vers différents formats de rapports et d'analyses complémentaires. TSK RONCOM 55A est livré avec des fonctionnalités logicielles complètes pour la manipulation, l'inspection, l'examen et l'analyse des plaquettes. Son interface utilisateur est intuitive et facile à utiliser, ce qui la rend idéale pour une grande variété d'applications d'inspection des défauts dans l'industrie des semi-conducteurs. Au cœur de l'unité se trouve l'étage x/y motorisé de pointe qui assure un mouvement précis et répétable lors du chargement/déchargement de l'échantillon et lors de l'inspection. Combiné au gestionnaire automatisé de plaquettes, cela permet l'inspection de plusieurs plaquettes en une seule fois tout en maintenant une précision et une répétabilité exceptionnelles entre l'inspection de plusieurs plaquettes. Dans l'ensemble, ZEISS RONCOM 55A est une machine avancée conçue pour les inspections de masques et de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une haute résolution d'image, des inspections automatisées fiables des défauts et un logiciel facile à utiliser, ce qui en fait un excellent choix pour des inspections précises et efficaces des défauts.
Il n'y a pas encore de critiques