Occasion ZYGO NewView 5000 5022 #9203844 à vendre en France
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Vendu
ID: 9203844
Optical 3D surface profiler
(2) Objectives: 10x, 50x
Additional manual zoom range: 0.4 to 2.0
3 Dimensional high precision measurement
Reference standards: Step height by VLSI
Microscope imaged details with surface profiler
Non-contact scanning white light interferometry
Computer non-functional
Computer missing.
ZYGO NewView 5000 5022 est un masque haute performance et un équipement d'inspection des plaquettes conçu pour la mesure de précision des structures IC dans les plaquettes semi-conductrices. Le système est capable d'inspecter à la fois les structures de monture de plaquettes ainsi que les structures de flanc. L'unité consiste en un chemin d'imagerie haute résolution, comprenant un réseau d'imagerie CCD à faible bruit, un microscope optique et une optique d'imagerie. La machine d'optique d'imagerie comprend un objectif, un filtre dichroïque et un grossissement fixe de 0.25X à 5X. Le chemin d'imagerie est conçu pour fournir une excellente sensibilité au contraste et de hauts niveaux de détail tout en minimisant le bruit d'image de fond. L'outil dispose également d'une mise au point automatisée et de piqûres d'image pour assurer une image cohérente à travers la plaquette. Pour la détection de défauts complexes, l'actif offre une large gamme d'outils automatisés d'amélioration du contraste, y compris des filtres d'affûtage, de binarisation et de lissage. Le modèle comprend également une gamme d'outils d'analyse de la capacité d'inspection, y compris un outil de reconnaissance de motifs qui peut détecter des types de défauts tels que des défauts de ligne d'oxyde, des éléments de circuit manquants et des fissures transversales d'oxyde. De plus, l'équipement comprend un inspecteur 3D pour mesurer avec précision le profil des parois latérales et les distorsions géométriques. L'inspecteur 3D offre également une mesure de dimension critique, qui évalue la précision des dimensions des parois latérales dans un processus de passage unique. Le système dispose d'un écran intégré de mesure et d'analyse qui permet aux utilisateurs d'analyser leurs résultats d'inspection. L'écran d'analyse permet aux utilisateurs de fixer des tolérances spécifiques pour les paramètres d'inspection et d'obtenir un rapport précis sur la performance de référence globale des plaquettes inspectées. De plus, l'unité permet de comparer les ICs d'échantillons sur plusieurs plaquettes afin d'assurer un rendement uniforme. Pour satisfaire des besoins d'industrie, la machine est conciliante avec une gamme de normes internationales, telle que les dernières directives ISO9000. L'outil est également doté de fonctions intégrées de sécurité et de traçabilité, qui garantissent la confidentialité et la traçabilité des données lors des mesures et des inspections. Dans l'ensemble, NewView 5000 5022 est un outil avancé d'inspection des masques et des plaquettes qui est conçu pour fournir une excellente sensibilité au contraste et la détection des détails, la mise au point automatique et la couture des images, l'inspection 3D pour les parois latérales et la mesure des dimensions critiques, ainsi qu'une gamme de fonctions d'analyse et de rapport. Le modèle est conforme aux normes internationales et offre une gamme de caractéristiques de traçabilité et de sécurité, ce qui le rend idéal pour la fabrication, l'inspection et le contrôle de qualité dans l'industrie des semi-conducteurs.
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