Occasion ZYGO NewView 7300 #9276460 à vendre en France
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Vendu
ID: 9276460
3D Optical profiling system
Stage, 8"
Mega pixel camera:
Automated 3-position multiple system
With 1.0x Zoom lens
Low noise
Large field
Digital closed loop piezo scanning
Transducer
Capacitive: 150 Micron scan
Illuminator with LED
Accommodates objectives: 1x - 100x
Extended scan, 20 mm
Vertical res: < 0.1 nm
RMS Repeatability: < 0.01 nm
Accessory:
6-Axis Base stage
Motorized Tip / tilt: X / Y / Z and theta included
Travel:
X / Y, 8"
Z, 4"
Rotation: +/- 90 Degree
PR travel: +/- 4 Degree
Options / Accessories:
Part number / Description
6300-0459-01 / Electronics, Power Kit 110/120 VAC (US) Included base system
6300-0650-02 / Manual encoded turret (4-Pos) (NV 600 / 700 / 6000 / 7000)
6300-0526-02 / Accessory: 2.0x Field zoom lens
6300-0522-02 / Accessory: 0.5x Field zoom lens
6300-0593-01 / Objective: 5x Michelson objective
6300-0595-01 / Objective: 20x AF Objective
6300-0597-01 / Objective: 50x Objective, thermally compensated
1840-700-105 / Vibration isolation table, 24 x 24 x 30 (LWH)
6300-2080-01 / Workstation table
6300-3434-01 / Workstation table, 1840-700-105 (NV 5000, 6000 and 7000 Series) / 1840-700-015 (GPI, MESA)
1776-666-012 / Accessory, SiC precision reference flat (30 mm Diameter)
1670-000-020 / Accessory, standard lateral calibration
1776-666-010 / Accessory, standard step height standard 1.75 um.
ZYGO NewView 7300 est un équipement haut de gamme d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour fournir des solutions robustes, fiables et rentables pour les fabricants de masques et les fabricants de semi-conducteurs. Il s'agit d'un système complet d'inspection des plaquettes et des masques composé de plusieurs composants de pointe. L'unité dispose d'un sous-système optique avancé et précis pour l'imagerie à grande vitesse des masques, des plaquettes de silicium et des panneaux plats. La configuration optique utilise quatre LED lumineuses, pulsées, de longueur d'onde d'un millimètre pour une sensibilité étendue et un large champ de vision. En outre, la machine utilise un moteur optique spécialisé exclusif à ZYGO pour une couverture maximale des plaquettes. ZYGO NEW VIEW 7300 propose également un processeur 32 bits double coeur avec une RAM de 512 Mo, permettant une résolution et une vitesse de sous-microns pour le criblage et l'analyse de grandes géométries. L'outil utilise une technologie unique de capture d'image réelle avec la réduction hybride de l'aberration chromatique (C.A.R.) pour améliorer la précision et la résolution. Le fonctionnement de grande taille et multi-fournisseurs est pris en charge par la bibliothèque incluse de paramètres de périphériques et de matériaux pour des performances optimales dans les rendements de production. L'atout est fourni avec une variété d'outils analytiques, y compris plusieurs fonctions d'analyse d'imagerie, d'analyse statistique, de dictage d'images multidimensionnelles et d'analyse de rendement spectral. L'interface utilisateur intuitive offre de puissantes capacités d'automatisation, permettant un examen détaillé et rapide des défauts critiques. Il prend également en charge les grandes inspections die-by-die des défauts, l'analyse des défaillances, le diagnostic des défauts de processus et la réparation. NewView 7300 offre également plusieurs capacités avancées pour la manipulation de grandes plaquettes, et prend en charge la configuration de plusieurs chambres. Le modèle d'inspection par masque multicouche peut inspecter jusqu'à 10 couches en une seule passe, tandis que l'équipement d'inspection par plaquette complète peut traiter jusqu'à 25 couches en une seule passe.Le système utilise un tableau breveté de X, Y, Z prism empilements pour l'accueil et le suivi, et pour la métrologie dimensionnelle des géométries. NEW VIEW 7300 est également compatible avec plusieurs sous-systèmes de traitement des plaquettes, y compris le transfert et le transport automatisés des plaquettes, les ports de chargement multi-baies et les systèmes de préparation d'échantillons. Il peut être intégré à une variété de systèmes d'automatisation tiers, permettant le transfert et le suivi des plaquettes sans intervention manuelle. Enfin, l'unité est conçue pour un entretien facile, avec une conception compacte et des exigences minimales de pièces de rechange. En conclusion, ZYGO NewView 7300 est une puissante machine d'inspection des masques et des plaquettes conçue pour fournir le moyen le plus rapide et le plus efficace de surveiller les performances des masques, la géométrie des plaquettes et les dimensions des caractéristiques. Il offre des fonctionnalités avancées, une précision incroyable et une flexibilité pour le criblage à haut débit et l'analyse de rendement.
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