Occasion ZYGO NewView Maxim GP #156895 à vendre en France
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ID: 156895
Interferometer
Nikon Objective 2.5 TI/0.075
Electronic Enclosure
5 Axis Stage Drive
(2) CRT Monitors
PC Unit
Power Supply
Cables
Measurement Technique:
Phase Modulated/Phase Shifting.
Part Viewing:
Real-time Video Monitor
Focus Control:
Coarse Wheel - 22 mm/turn, with tension adjust
Medium Knob - 4.7 mm/turn, with tension adjust
Fine Knob - 0.2 mm/turn
Vertical Travel:
5.1 in. (130 mm)
Objective Mounting
Single dovetail mount,
Camera Size:
Up to 640 x 480 pixels
Electrical:
Incoming Power from Electronic Enclosure
Operating Environment:
Temperature: 15° to 30°C (59° to 86° F)
Rate of Temperature Change: <1.0°C/15 minutes
Humidity: 5 to 95% relative, noncondensing
Vibration: Frequency Isolation - 1Hz < freq < 120Hz
Performance:
Vertical Resolution: 0.1 nm
Maximum Vertical Step Height: 100 turn
Vertical step height: 100 microns.
ZYGO NewView Maxim GP est un équipement complet d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Le système est conçu pour mesurer l'évolution rapide des paramètres d'un masque ou d'un échantillon de plaquettes dans un environnement à haut débit. L'unité est construite autour d'un puissant interféromètre laser et d'une machine d'imagerie numérique, qui peuvent tous deux être contrôlés avec précision et facilement calibrés. L'interféromètre laser évalue les microstructures tridimensionnelles d'un échantillon en mesurant la différence de hauteur entre les points de l'échantillon. Cela permet de mesurer avec précision des caractéristiques critiques telles que la largeur des lignes et la fidélité des motifs sur une large gamme de tailles d'échantillons. La composante d'imagerie numérique de l'outil utilise alors des superpositions codées en couleur pour évaluer d'autres propriétés, telles que l'absorption d'énergie et la transmission de la lumière. L'actif comprend une variété de paramètres pour optimiser le processus d'inspection pour différentes classes d'échantillons. Ceux-ci comprennent des ajustements pour l'angle d'incidence, l'agrandissement du faisceau et la profondeur de focalisation. De plus, l'utilisateur peut ajuster le degré d'intensité ou de corrélation requis pour un échantillon donné. ZYGO MAXIM GP comprend des outils logiciels avancés pour analyser les données collectées lors de chaque inspection. Le logiciel facilite la comparaison des résultats entre différents types d'échantillons, de processus et d'instruments. Il dispose également d'outils d'analyse sophistiqués, comme le FFT et les superpositions, qui permettent aux opérateurs d'identifier rapidement les défauts sur un échantillon. Le modèle est conçu avec un accent sur la sécurité et la commodité. Une enceinte de protection protège les opérateurs du rayonnement laser/faisceau et la sécurité de l'équipement est régulièrement testée avec des emboîtements et des capteurs externes. Tous les composants de la machine sont faciles d'accès et peuvent être rapidement enlevés pour maintenance ou remplacement. En outre, le système est conçu pour être rapide et efficace, avec un temps de scan moyen de moins d'une minute. NewView Maxim GP est un masque avancé et complet et une unité d'inspection de plaquettes qui fournit une précision de données supérieure et des performances robustes dans des conditions de débit élevé. Ses composants avancés offrent des capacités d'imagerie supérieures, permettant de mesurer rapidement et précisément les paramètres critiques d'un échantillon. De plus, ses caractéristiques optimisées, ses caractéristiques de sécurité et sa facilité d'utilisation en font le choix idéal pour les professionnels de l'industrie des semi-conducteurs à la recherche d'une inspection rapide, précise et fiable.
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