Occasion ZYGO Verifire AT #9222106 à vendre en France
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Vendu
ID: 9222106
Style Vintage: 2002
Interferometer
OS: Windows 10 64 bit
Measurement capability: Measures surface & transmitted wavefront
Measurement techniques: Vibration tolerant phase shifting interferometry
Alignment system: 2-Spot with reticle with 2° capture range
Test beam diameter: 4" (102 mm)
Optical centerline: 4.25" (108 mm)
Laser source: Un-stabilized 633 nm HeNe, Class IIIa
Camera resolution: 1000 x 1000 Pixels
Shutter speed shortest: 20µs
Digitization: 10 bits
Image resolution: 400 µm Over entire FOV (Optically limited)
Image distortion: Up to 2% over entire focusing range
Focus range: ±2 Meters
Mounting configurations: Horizontal / Vertical
Performance:
RMS Repeatability: <0.5 nm RMS 2 - With NO averaging
RMS Wavefront repeatability: <0.4 nm RMS 2 - With NO averaging
Fringe resolution / Slope: >1.5 Fringes/mm / > 150 fringes across aperture
Retrace error @ maximum fringes: 0.13 Waves
Operating environment:
Temperature: 15° to 30°C (59 to 86F)
∆T/∆t: <1.0 °C/15 min
Humidity: 5 - 95% Relative, non-condensing
Vibration isolation: Isolation system recommended for PSI
2002 vintage.
ZYGO Verifire AT est un outil avancé pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il fournit une analyse haute performance des surfaces transparentes et réfléchissantes telles que les plaquettes, masques et autres échantillons plats. Verifire AT est le produit de l'intersection de l'ingénierie de précision, de l'optique de pointe et des systèmes de contrôle avancés. Il dispose d'une interface utilisateur intuitive qui permet un fonctionnement facile pour les opérateurs novices et avancés. Au cœur, ZYGO Verifire AT est un équipement d'imagerie optique combiné et contrôleur d'inspection automatisé. Son système central d'imagerie optique utilise un microscope à haute pression breveté, qui fournit une résolution sous micron des échantillons jusqu'à 220 mm de diamètre. Ce microscope utilise deux axes indépendants pour fournir une imagerie stéréo qui produit généralement une plus grande précision et une image plus précise que les microscopes optiques traditionnels. Comme l'imagerie stéréo nécessite deux images distinctes, Verifire AT utilise une unité de double barretter brevetée qui élimine le besoin de couture d'image. Le contrôleur d'inspection automatisé permet une automatisation complète du processus d'inspection. Plus précisément, ZYGO Verifire AT offre des fonctions d'étape et de répétition automatisées, de post-traitement et d'étalonnage. Étape automatisée et répétition permet à l'utilisateur de saisir rapidement et avec précision une série d'images de l'échantillon. Les fonctions de post-traitement comprennent l'optimisation du contraste et la détection automatique des défauts, qui sont toutes deux grandement simplifiées par l'utilisation de l'effet double troc. Enfin, Verifire AT fournit plusieurs outils d'étalonnage entièrement automatisés pour s'assurer que les images sont correctement mises à l'échelle, alignées et focalisées. ZYGO Verifire AT dispose également d'une machine de mesure micrométrique très précise pour ceux qui doivent mesurer les caractéristiques détaillées de leur échantillon. Cet outil micrométrique est intégré directement dans l'interface utilisateur, fournissant des mesures rapides et des résultats précis. Enfin, Verifire AT est conçu pour être évolutif. Il peut être facilement adapté aux besoins des utilisateurs individuels. Sa conception modulaire permet une personnalisation et une mise à niveau faciles en permettant à l'utilisateur d'acheter et d'installer uniquement les composants dont il a besoin. ZYGO Verifire AT est un outil polyvalent et fiable d'inspection des masques et plaquettes. Il est capable de fournir une imagerie précise et des inspections approfondies avec un minimum d'effort. Avec son interface facile à utiliser, son évolutivité et son modèle de mesure précis, Verifire AT est l'outil parfait pour tout laboratoire d'inspection.
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