Occasion VEECO / DEKTAK Dimension X3D #9375522 à vendre en France

VEECO/DEKTAK Dimension X3D est un microscope de laboratoire complet conçu pour la métrologie de précision des semi-conducteurs. Il combine les capacités optiques et de microscope électronique à balayage (SEM), l'imagerie 3D, les modes à vide bas et à vide élevé très efficaces, et la cartographie automatisée. Son système intégré permet une analyse approfondie des structures tout au long d'une plaquette, ainsi qu'une préparation et une inspection des échantillons en ligne. Cela le rend particulièrement adapté pour la détermination de problèmes de structures aux niveaux micron et nanomètre. Le système utilise une optique de haute précision et des étages de balayage à grande vitesse, ainsi qu'un chemin de réflexion avancé pour détecter les électrons secondaires ou les bords de coupe et obtenir une résolution sous-nanométrique. L'imagerie est optimisée par l'utilisation d'optiques de démagnétisation et de lentilles objectifs de faible puissance qui peuvent permettre d'imager ou d'étudier en 3D toutes les surfaces d'un échantillon semi-conducteur. De plus, le X3D comprend une technique unique de vue basse tension de sorte que l'échantillon peut être vu jusqu'à la résolution de 3 nm. Pour la cartographie automatisée des échantillons, le X3D utilise une technique spéciale appelée Photon-Excited Secondary Electron Emission (PSEE) pour détecter la morphologie de l'échantillon. PSEE permet de cartographier la topographie de l'échantillon plus rapidement que les méthodes traditionnelles, comme l'imagerie topographique. En outre, le X3D a été amélioré pour réduire la quantité d'électrons secondaires générés, ainsi que pour donner des images plus lisses. Le X3D comprend également une suite complète de logiciels qui peuvent être utilisés pour contrôler le microscope, analyser des images, et même enregistrer et analyser des données. Le logiciel peut être utilisé pour afficher des images et créer automatiquement des rapports de mesure, ainsi que pour déterminer la présence de défauts et de défauts dans l'échantillon, ainsi que d'autres caractéristiques d'intérêt. En outre, le logiciel comprend des outils pour la taille des défauts et la discrimination de forme, ainsi que des techniques d'analyse des défauts. Le X3D est contrôlable à partir d'un seul poste de travail et peut être interfacé avec des systèmes automatisés, tels que des machines d'essai. Cela fait du X3D un choix idéal pour la métrologie rapide et les applications de contrôle de processus. Le X3D est un outil puissant et polyvalent pour la métrologie des semi-conducteurs, offrant aux utilisateurs des performances, une durabilité et des capacités d'automatisation supérieures. Le X3D combiné avec l'expertise et le support de VEECO et DEKTAK en fait le choix idéal pour toute application de métrologie semi-conductrice de haute précision.