Occasion VARIAN / VEECO GEN 200 #293602410 à vendre en France

VARIAN/VEECO GEN 200 est un équipement d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) conçu pour des capacités de nanofabrication avancées. Le système est conçu pour produire des films minces de haute qualité de matériaux avec un contrôle et une précision exceptionnels. C'est un outil polyvalent qui peut être utilisé dans une grande variété d'applications allant des dispositifs électroniques et optoélectroniques aux dispositifs quantiques supraconducteurs. VEECO GEN 200 est une unité de dépôt multi-chambres. Il se compose de trois chambres principales : la serrure de charge, la chambre de processus et la chambre de plate-forme. La serrure de charge est utilisée pour permettre le transfert en toute sécurité des substrats et des échantillons dans et hors de la machine. Il est équipé d'un outil de chargement et de déchargement automatisé. La chambre de procédé est responsable du dépôt proprement dit et est divisée en trois zones distinctes : une zone de manipulation du substrat, une zone de vaporisation et une zone d'échappement. La zone de manipulation du substrat est équipée d'une palette à température contrôlée pour un contrôle stable de la température du substrat. La zone de vaporisation est équipée de deux sources radiofréquences (RF) pour produire les espèces de vapeur (ou précurseurs) nécessaires au dépôt de films. La zone d'échappement contient des pompes et des filtres pour l'élimination des composés volatils. La chambre plate-forme sert de chambre tampon intermédiaire pour le guidage et l'empilement des substrats et est également équipée d'un outil de chargement automatisé et d'un modèle de régulation de température. L'équipement VARIAN GEN 200 MBE permet un contrôle précis des paramètres qui affectent la croissance des couches minces. Il s'agit notamment de la température du substrat, de la pression et de la composition du gaz réactionnel, et du flux des espèces entrantes. Ceci se fait à travers une combinaison de régulateurs de température indépendants, régulateurs de débit, régulateurs de pression et de masse et d'autres paramètres de processus. Le système dispose également d'un logiciel d'acquisition de données robuste qui permet la surveillance en temps réel des données et le contrôle des différents paramètres de processus. Ce logiciel comprend une unité d'exploitation complète pour un large éventail de processus MBE, ainsi que des outils de tracé et des utilitaires avancés pour l'analyse des données. Le GEN 200 a été utilisé avec succès pour fabriquer des appareils optoélectroniques et électroniques de haute performance et est devenu un outil populaire pour la recherche et le développement de produits dans un large éventail de domaines. Ses capacités exceptionnelles et sa polyvalence en font un outil utile pour une variété d'applications.