Occasion VARIAN / VEECO GEN II #9257237 à vendre en France
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Vendu
ID: 9257237
MBE System
Controller rack
Loadlock
Wafer transfer module
SS Elbow
Turbo pump to chamber
Power supply variable
TV Power controller
(3) Vacuum pump controllers
Ion source power supply
Gate valve poppet assy
Ion source gun
Rod
Wafer gripper
Main chamber
Misc items:
SM Cables
Power supply
Manuals.
VARIAN/VEECO GEN II est un équipement d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) conçu pour la croissance de dispositifs à basse température tels que supraconducteurs, semi-conducteurs et ferromagnétiques. Il est composé d'une chambre UHV (ultra-haute dépression), d'une série de sources de dépôt et d'un ensemble d'analyseurs de masse. La chambre UHV est conçue pour maintenir son environnement intérieur à des pressions inférieures à 2 x 10 ^ -7 Torr, bien inférieures à celles disponibles dans les laboratoires conventionnels. Pour ce faire, on maintient une absence totale de particules à l'intérieur de la chambre tout en s'appuyant sur une combinaison de pompes et d'introduction continue de gaz pour maintenir la basse pression. Le comptage des particules à l'intérieur de la chambre est alors contrôlé et géré par un système de contrôle. Les sources de dépôt à l'intérieur de la chambre permettent une croissance contrôlée de matériaux tels que GaAs, InP, Si, Ge et bien d'autres. Les sources sont constituées de plusieurs bateaux à quartz (pour les sources solides) maintenus contre des chauffages pour maintenir une température de consigne et une source de vapeur résistive. Les bateaux sont réglables dans le plan x, y et z, ce qui permet un réglage fin des épaisseurs de couche. La température du bateau est précisément contrôlée à l'aide d'une unité thermocouple, calibrée à moins de 200 ° C La machine d'analyse de masse est utilisée pour l'analyse des gaz résiduels ou pour la mesure directe du flux des sources à l'intérieur de la chambre. Il se compose de diverses sources d'ionisation qui s'interface directement à la chambre UHV par l'intermédiaire d'un orifice latéral pompé différentiellement. Cet outil permet de détecter des espèces comme O2, H2O, l'air et bien d'autres. La chambre UHV, les sources de dépôt et les analyseurs de masse sont tous reliés à un poste d'opérateur informatique. Cette station contient un actif d'acquisition de données et une interface de contrôle, permettant d'automatiser l'ensemble du processus de dépôt. Le modèle comprend sept recettes contrôlées par la recette et une large gamme de paramètres personnalisables, ce qui le rend adapté à une grande variété de matériaux de substrat et de types de dispositifs. VEECO GEN II est un équipement MBE de pointe et reste le choix de nombreux chercheurs dans le domaine des appareils à basse température. Sa forte combinaison d'exigences UHV, de sources de dépôt et de capacités d'analyse de gaz permet une large gamme d'expériences liées aux dispositifs, ce qui en fait un outil précieux pour la recherche et la fabrication de dispositifs.
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