Occasion VARIAN / VEECO GEN III #9239247 à vendre en France

VARIAN/VEECO GEN III est un système avancé d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) utilisé pour déposer des couches minces de semi-conducteurs sur divers substrats. Il se compose de quatre chambres qui sont interconnectées et configurées pour effectuer la croissance homoépitaxiale à basse température, les oxydes et les nitrures, et d'autres processus épitaxiaux avancés. La première chambre abrite une source multi-débogueur. Il est équipé d'un maximum de six dispositifs horizontaux ou de débogage isolés individuellement pour éviter la contamination du substrat par d'autres matériaux. Les sources multiples peuvent varier en courant, en puissance et en fréquence pour s'adapter au processus de dépôt souhaité. Cette chambre est également équipée des accessoires de source nécessaires tels qu'un obturateur de faisceau d'électrons, des boucliers thermiques et des suppresseurs Shottky. La deuxième chambre contient le porte-substrat, qui est un ensemble tournant vertical pouvant accueillir jusqu'à quatre substrats. Il abrite également une serrure et l'échantillon peut être chauffé à des températures comprises entre -100 ° C et 800 ° C pour permettre des processus de croissance avancés. Deux manipulateurs obturés et un obturateur principal permettent de protéger le substrat, tandis qu'un planeur assure un chauffage uniforme du substrat. La troisième chambre est la chambre de croissance, équipée d'un filament chauffant, de huit injecteurs de gaz et d'une ligne de cryopumping. Le filament est destiné à fournir l'énergie nécessaire pour des températures de croissance comprises entre 300 et 900 ° C Les injecteurs de gaz sont reliés à un panneau de gaz, qui sert à l'acheminement des gaz de source et dopants vers la chambre de croissance. La ligne de cryopumping est utilisée pour maintenir une faible pression de fond en pompant des gaz résiduels. La quatrième chambre est la chambre de résultat, où le film mince résultant est caractérisé. Cette chambre est équipée d'un spectromètre de masse quadrupolaire (QSMS) pour l'identification des espèces et d'un analyseur de gaz résiduaire (RGA) pour l'analyse de la composition. Il comprend également une station automatisée de transfert d'échantillons pour examiner des plaquettes dans une chambre séparée de photomicroscope. VEECO GEN III est un système MBE avancé conçu pour les opérations et la recherche. Ses multiples chambres, ses composants de pointe et la disponibilité de procédés de croissance avancés rendent ce système idéal pour le dépôt à haut débit et le développement de procédés.