Occasion VEECO Gen II #293773662 à vendre en France
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ID: 293773662
Taille de la plaquette: 3"
Style Vintage: 1982
Molecular Beam Epitaxy (MBE) system, 3"
Materials: Al, Ga, In, GaTe, Be, As, Sb
Auxiliary chamber
Growth chamber: (2) Shrouds / 8-Cell ports
Manual wafer transfer
Manual valve
Load Lock chamber
Water cooled manipulator with heater, 3"
(8) Effusion cells, 2"
(4) Upward looking effusion cells
InALGaAs with Si / Be
(3) Ion pumps
(2) Cracker Cells
(2) Automated valve positioners
(2) Ion pumps / Controllers
(3) Sorption pumps
QMS
6-Wafer load lock
O2 Plasma source
Cracker cells: H2S, H2S3
EUROTHERM Temperature controller
PC
1982 vintage.
L'équipement VEECO Gen II d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) est un outil avancé de dépôt de couches minces conçu pour la croissance épitaxiale de matériaux semi-conducteurs composés avec une grande précision, pureté et contrôle. MBE est une technique clé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, permettant la croissance de couches ultra-minces de matériaux avec une précision de niveau atomique. Le système Gen II est la deuxième génération de systèmes MBE développés par VEECO Instruments Inc., un fournisseur leader de solutions avancées de dépôt et de mesure de couches minces. Fort du succès de l'unité d'origine Gen I, VEECO Gen II offre des performances améliorées, des fonctionnalités avancées et une fiabilité améliorée pour des applications de recherche et de production de pointe. Une des caractéristiques clés de la machine Gen II est l'environnement à ultra-haut vide (UHV) dans lequel le processus de croissance épitaxiale a lieu. L'environnement UHV est essentiel pour minimiser la présence d'impuretés et de contaminants, assurant la grande pureté des couches minces déposées. L'outil est équipé d'un outil de pompage sophistiqué, y compris des cryo-pompes et des pompes à ions, pour atteindre et maintenir les niveaux de vide requis pour les processus MBE. Le modèle VEECO Gen II dispose également d'une cellule d'effusion à haute température, utilisée pour évaporer des sources élémentaires telles que l'arsenic, le gallium et l'indium. Ces sources élémentaires sont alimentées sous forme de tiges ou poudres solides, qui sont chauffées dans la cellule d'effusion pour produire un faisceau moléculaire d'atomes qui se condense à la surface du substrat pour former les couches épitaxiales. La température de la cellule d'effusion peut être contrôlée avec précision pour ajuster le flux de matériau et optimiser les conditions de croissance pour des combinaisons de matériaux spécifiques et des structures de couches. De plus, l'équipement Gen II est équipé de plusieurs obturateurs et moniteurs de flux de faisceau pour contrôler la vitesse et l'épaisseur de dépôt des couches épitaxiées. Les volets sont utilisés pour bloquer sélectivement ou permettre aux faisceaux moléculaires d'atteindre le substrat, permettant un contrôle précis du processus de croissance. Les moniteurs de flux de faisceau fournissent une rétroaction en temps réel sur le flux et l'uniformité du matériau déposé, permettant une surveillance et un ajustement précis des paramètres de croissance. En plus de ses capacités de dépôt avancées, le système VEECO Gen II dispose d'une unité de contrôle et de surveillance complète qui permet aux utilisateurs de créer et d'exécuter facilement des recettes de croissance complexes. La machine est équipée d'une interface conviviale pour programmer des séquences de croissance, définir des paramètres de dépôt et surveiller des variables de processus clés en temps réel. Les algorithmes logiciels avancés permettent d'optimiser automatiquement les conditions de croissance pour obtenir les propriétés matérielles et les performances des appareils désirés. Dans l'ensemble, l'outil d'épitaxie par faisceau moléculaire Gen II représente un outil de pointe pour les chercheurs et les fabricants de dispositifs cherchant à développer des matériaux et des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité avec un contrôle précis de la composition des matériaux, de l'épaisseur des couches et de la qualité des cristaux. Ses fonctionnalités avancées, sa grande fiabilité et son interface conviviale en font un atout précieux pour un large éventail d'applications de recherche et de production dans les domaines de la nanotechnologie, de l'optoélectronique et de l'ingénierie des dispositifs semi-conducteurs.
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