Occasion VEECO Gen II #9107591 à vendre en France
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ID: 9107591
MBE System
Chamber with (8) source flange size, 2.75”
MBE Components:
RHEED System
Sample manipulator with flux monitor
QMS Head
Glove box
Pumps:
Cryo pump
Lon pump
Turbo pump
(2) Ion pumps:
Main chamber (600 l/m)
Buffer chamber (150 l/m) with (2) power supplies
(2) Ti-Sublimation pumps
With power supplies in the base of the main chamber
Manipulator, 2"
With servo motors for rotation
Position setting
Control unit
Heater power supply
Thermo-couple controller
Beam flux
Monitor and controller
(2) Ion gauges:
With (2) power supplies and controllers
Main chamber
Load lock
Load lock for 6 wafers
With heater for pre bake out with its power supply
Temperature controller
Electrical distribution panel
Bake out panels with electrical connections
Eight shutters with their control units
Utility distribution box for water, air, N2
QMS, Power supply & display unit
Operating system and computer
(6) Sample holders
Baffles head for main chamber turbo pump
Gaskets silver coated copper gaskets
Mixing manifold
With (2) leak valves and tubing for gas interceptor
Sulfur automatic valved cracker with:
(2) Temperature zones
100 CC Quartz crucible
(2) Power supplies
(2) Temperature controllers
Servo motor and controller and cable
Oxygen plasma source with:
RF Power supply
Matching unit
Leak valve
Water flow meter and filter
High temperature effusion cell with:
Temperature zone up to: 2000°C
10 CC Crucible
Power supply & temperature controller
Low temperature effusion cell with:
(2) Temperature zones (Base and tip)
25 CC PBN Crucible
(2) Power supplies
(2) Temperature controllers
Gas injector with:
Single heater
Power supply
Temperature controller and display
Mixed manifold with two leak valves and tubing
Options:
QCM Integrated
With machine for film thickness monitor
RHEED System
With 6" phosphorous screen and detector and camera
E-beam gun with power supply and control unit.
L'équipement VARIAN/VEECO GEN II d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) est un système de dépôt multi-utilisateurs très avancé pour le dopage et le dépôt d'une grande variété de matériaux semi-conducteurs. Cette unité MBE de pointe permet un contrôle précis de l'environnement de dépôt pour obtenir des couches de haute qualité avec une excellente reproductibilité. Cette machine permet le dépôt de couches de haute qualité et uniformes de matériaux semi-conducteurs tels que l'arséniure de gallium et l'arséniure d'indium gallium. Le procédé de dépôt est réalisé dans une chambre à vide, où le substrat à déposer est placé sur un support chauffant. Trois types de cellules effusives, fabriquées par César sont utilisées avec l'outil ; un arsenic, un gallium et une cellule d'indium. La combinaison de ces trois cellules donne à l'utilisateur la souplesse nécessaire pour créer des structures complexes et spécialisées en couches minces. La pression de base de l'actif MBE est maintenue à 4-6 x 10-7 mbar, et un modèle de verrouillage de charge séparé est utilisé pour réduire davantage la pression avant l'introduction dans la chambre à vide. En outre, l'équipement contient une unité d'oxydation thermique, un générateur d'ozone et deux lignes d'azote afin d'aider à la préparation de surface et à l'amélioration de la croissance. Le porte-substrat est chauffé électriquement et est contrôlé en température avec une série de thermocouples, permettant des températures uniformes sur toutes les zones de l'échantillon, assurant ainsi un contrôle de précision pour le dépôt de couches minces. Les températures prédéterminées vont de 200 K à 1 000 K. De plus, les équipements VEECO GEN II sont équipés d'un logiciel de pointe, qui offre une variété de fonctionnalités utiles pour contrôler le processus d'émission et de dépôt à la source. Le logiciel comprend un ensemble complet d'outils pour simuler des processus de croissance, définir des structures de couches et effectuer divers calculs de paramètres. En utilisant de puissantes capacités d'optimisation paramétrique, les utilisateurs peuvent également développer des simulations détaillées de leurs structures en couches minces, leur permettant de maximiser les performances de leurs échantillons. Il permet également aux utilisateurs de créer des interfaces graphiques afin de leur fournir un moyen pratique de mettre en place et de surveiller des expériences. Le système VARIAN GEN II MBE a été conçu pour répondre à un large éventail de besoins scientifiques et industriels, permettant aux utilisateurs de porter leurs applications de recherche au niveau supérieur. Cette unité avancée est capable de produire des résultats de haute qualité et offre la flexibilité d'allouer différents matériaux, atome par atome, afin de créer des structures complexes en couches minces.
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