Occasion VEECO Gen II #9173265 à vendre en France
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ID: 9173265
MBE Growth system
Chamber with (8) source flange size 4.5”
Sources: Al, Ga, In, Be, Si, GaTe, As, Sb
(2) Ion pumps:
Main chamber (600 l/m)
Preparation chamber (400 l/m) with (2) power supplies
CTI8 Cryo pump for main chamber
6” Turbo pump with dry pump for load lock
(2) Ti-Sublimation pumps
With power supplies in base of main chamber
Sample manipulator with servo motors for rotation, 2" or 3"
Position setting
Control unit
Beam flux monitor
Controller
Sample manipulator heater with power supply
Temperature controller and display
(3) Ion gauges:
With (3) power supplies and controllers
Main chamber
Preparation chamber
Load lock
Load lock for 4-10 wafers
With heater for pre-bake out at 150°C, power supply included
Temperature controller
Preparation chamber
With heater for bake out at 400°C, power supply included
Temperature controller
Electrical distribution panel
Bake out panels with electrical connections
(8) Shutters with their control units
Utility distribution box for water, air, N2
QMS and RHEED with power supplies
Operating system and computer (Latest version of Moly, or AMBER, or EPIMAX)
4-6 Sample holders
Silver coated copper gaskets
Pyrometer
RHEED Camera and analysis software
Turn key project
Effusion cell:
Flange, 4.5"
Dual or single heater up to 1350 C
85-155 CC PBN crucible
Power supply
Temperature controller.
VARIAN/VEECO GEN II est un équipement d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) disponible pour la croissance d'une large gamme de matériaux, y compris des polytypes III-V, des oxydes, des nitrures, du graphène et des éléments de terres rares. Le système se compose de deux composants principaux, dont une unité MBE à deux chambres et un complément complet d'outillage et d'instrumentation. La machine MBE à deux chambres est constituée d'une chambre d'évaporation et d'une chambre de croissance. La chambre d'évaporation abrite six sources de cellules de Knudsen, ce qui permet des variations dans les types de matériaux. La chambre de croissance est une chambre très personnalisable à base de tube de bain conçue pour maximiser la croissance épitaxiale. L'outil est équipé d'une pléthore de sous-systèmes, tous destinés à optimiser la qualité du matériau, y compris le contrôle de la température, le chauffage du substrat et la surveillance in situ sur six axes. L'actif de contrôle permet des processus de croissance automatisés, ainsi que la télécommande. En outre, le modèle est équipé d'une gamme de paramètres facultatifs incluant la personnalisation de la géométrie de la source, des lames et de la grille, le contrôle du débit d'échantillons et de la pression de la chambre, ainsi que des capacités de pré-alignement et de post-alignement pour améliorer la qualité et la précision des matériaux. Enfin, l'équipement est équipé d'un certain nombre de systèmes de support différents, dont un cluster de dégazage, un canon à électrons à distance, un système laser et une combinaison de contrôleur qui permet à l'utilisateur de tracer des potentiels pour optimiser la qualité du matériau et la vitesse de croissance. Au total, VEECO GEN II est une unité puissante capable de développer une large gamme de matériaux. Ses nombreux systèmes et paramètres auxiliaires, ainsi que le contrôle automatisé, permettent une manipulation précise de la croissance des matériaux pour produire des matériaux cohérents de haute qualité qui peuvent ensuite être utilisés dans une variété d'applications.
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