Occasion VEECO Gen II #9359602 à vendre en France
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ID: 9359602
Taille de la plaquette: 2"
MBE System, 2"
(8) Sources:
(7) 2.75" Flanges
4.5" Flange
Indium-free (6) sample holders with profiles
Substrate heater: Up to 900°C
Substrate manipulators:
Power supply
Temperature controller
Servo motor control unit
Clean chamber
Effusion cells
(2) Valve crackers
RF Plasma source: Nitrogen / Oxygen
Growth chamber pumps:
Ion pump: 400 l/m
Cryo pump, 10"
Prep chamber pumps: Ion pump
Load lock pumps: Sorption, mechanical, turbo pumps
(3) Ion gauges and controllers
RHEED and QMS Systems
Pyrometer
Computer
Panels.
Epitaxie par faisceau moléculaire (MBE) est un procédé complexe de dépôt en couches minces utilisé pour créer des couches atomiques précises de matériaux pour une variété d'applications de dispositifs microélectroniques. L'équipement VARIAN/VEECO GEN II MBE est une machine MBE complète conçue pour les laboratoires de recherche et développement et les fabricants des secteurs universitaire et commercial. En contrôlant avec précision de nombreux paramètres environnementaux et la position du substrat, ce système MBE permet aux utilisateurs de gérer un ensemble de processus de dépôt allant de la basse pression à l'ultra-haute dépression. VEECO GEN II MBE est une unité à quatre sources inclinées avec deux sources à basse pression dédiées au groupe V et une à groupe III (rhénium et arsenic, respectivement). La quatrième source est une machine de source sous vide ultra-haute optimisée pour la croissance du GaAs et des alliages connexes. Les vannes à source de gaz mainframe permettent un transfert rapide et propre du substrat à l'intérieur et à la sortie de la chambre MBE, tandis qu'un outil intégré de verrouillage de sécurité surveille les conditions des actifs pour assurer un fonctionnement sûr. Le positionnement précis du substrat est assuré par une étape de manipulation linéaire, qui peut être intégrée dans diverses sources de chargement et de déchargement MBE, assurant précision et répétabilité. En outre, VARIAN GEN II comprend également un contrôle de température manuel et en boucle fermée avec une flexibilité de thermocouple. L'analyse des gaz résiduels est assurée par un spectromètre de masse multi-impulsions amplifié par laser pour améliorer la précision et la vitesse. Le modèle GEN II MBE dispose d'une variété de fonctions de contrôle et d'automatisation conçues pour rendre l'expérience de l'utilisateur plus efficace. Cela inclut une interface utilisateur graphique conviviale (interface graphique) permettant la configuration et le contrôle. En outre, cet équipement MBE dispose de plusieurs protocoles de recette préprogrammés pour optimiser la croissance et la reproductibilité. Dans l'ensemble, VARIAN/VEECO GEN II MBE fournit aux utilisateurs un système performant et précis pour créer des couches atomiques précises de matériaux. Il offre un contrôle supérieur de la température, un positionnement précis du substrat, un fonctionnement en boucle fermée, une unité d'interception de sécurité améliorée et des vannes de source de gaz, ainsi qu'un contrôle efficace de l'interface graphique et de l'automatisation. Avec son large éventail de caractéristiques et sa capacité à répondre aux exigences technologiques de pointe, la machine VEECO GEN II MBE est un outil précieux pour de nombreux projets de recherche et de fabrication.
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