Occasion VEECO GEN III #9378324 à vendre en France
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ID: 9378324
Taille de la plaquette: 2"-4"
Style Vintage: 1996
MBE System, 2"-4"
Pieces: ¼"
Electronics rack
Chamber
Computer
RHEED Camera type: SI NEK150R1
RGA Mass spectrometer: PRB ECU 9925
For III / V Growth: GaAs, AlGaAs, InGaAs, CBr4
(9) Sources (Rebuilt): (2) Ga, (2) Al, (2) In, As, Si, (shared) C / Be
H2 Cracker
1996 vintage.
VARIAN/VEECO GEN III est un équipement de croissance par épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) qui est généralement utilisé pour le dépôt de couches minces au niveau atomique. Le système est composé de plusieurs composants majeurs, tels qu'un four à image de croissance à haute température, une chambre à vide ultra-haute, des cellules à effusion multiple, un obturateur de proximité thermique, et plusieurs systèmes de pompage de première ligne. Le four à images, capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1000 degrés Celsius, est utilisé pour convertir le matériau de la forme solide à la forme gazeuse afin de déposer des films ultra-minces de haute qualité. La chambre à vide ultra-haute est la zone dans laquelle se produit le dépôt, et elle est typiquement pressurisée jusqu'à quelques dixièmes de millibar. Les cellules à effusion multiple contiennent les matériaux sources, qui doivent être chauffés à haute température pour qu'ils évaporent leurs éléments et passent dans la chambre pour former le film mince. L'obturateur de proximité thermique permet de contrôler la position relative des cellules d'effusion par rapport au substrat sur lequel le film est déposé. Les systèmes de pompage avant de ligne sont nécessaires pour maintenir un niveau élevé de vide, ce qui est essentiel pour le MBE car il nécessite un environnement de basse pression partielle afin d'éviter la contamination du film. L'unité de pompage est fixée à la chambre à vide et remplit deux fonctions : réguler la pression de la machine et générer un vide de haute qualité. L'outil de pompage peut également utiliser des composants supplémentaires, tels que des pièges à cryo, des jauges à vide, des vannes collectrices et des vannes nappées, pour optimiser les performances. Dans l'ensemble, VEECO GEN III MBE est un outil de croissance puissant qui peut fournir une gamme de propriétés matérielles dans des conditions extrêmement précises. Il offre un niveau de contrôle inégalé sur le processus de dépôt et permet de créer des couches minces complexes et complexes.
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