Occasion VEECO GENxplor #293648270 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
L'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) est un type de technique de dépôt sous vide utilisée dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le MBE utilise une chambre à vide scellée, permettant le dépôt de matériaux en couches minces sur différents substrats, sous forme d'atomes ou de molécules. VARIAN/VEECO GENxplor, en particulier, est un système d'épitaxie par couche atomique à haute dépression et basse température (ALE) qui permet le dépôt de matériaux présentant des performances et une reproductibilité améliorées. VEECO GENxplor est un système à deux zones qui se compose d'un insert contenant soit deux fours à haute pureté et à faible teneur en oxygène brevetés VEECO à l'une ou l'autre extrémité, soit un seul four à deux zones avec deux zones de température distinctes sur le même substrat. L'utilisation de fours à deux zones permet le dépôt de deux matériaux en couches minces à des températures différentes avec un contrôle précis de la température. VARIAN GENxplor est également équipé de trois vannes à faisceau moléculaire et de deux cellules d'effusion pour fournir une plus grande gamme de produits chimiques de sources métalliques. Le faisceau moléculaire injecte une dose extrêmement précise de vapeur métalorganique dans la chambre de croissance, ce qui est dit être 130 à 600 fois plus précis que les procédés traditionnels de dépôt en phase vapeur métal-organique. De plus, GENxplor offre une excellente uniformité des plaquettes avec son module avancé de position des plaquettes, qui est précis à moins de 1 µm. Ceci permet un meilleur contrôle de la température de la source et du substrat lors du dépôt, permettant la croissance de couches minces de haute qualité sur l'ensemble de la plaquette. Enfin, VARIAN/VEECO GENxplor est livré avec un logiciel de croissance modélisé VARIAN GRIP, qui offre un procédé précis et reproductible pour la fabrication de dispositifs à mémoire nanométrique de pointe et d'autres dispositifs de haute performance. Le logiciel automatise le processus de dépôt en contrôlant les vannes à faisceau moléculaire et les cellules d'effusion, assurant un dépôt précis et fiable. En conclusion, VEECO GENxplor est un système MBE avancé qui offre une précision et des performances accrues par rapport aux systèmes MBE traditionnels, ce qui en fait un outil précieux pour les fabricants de dispositifs visant une précision et un contrôle complets pour leur dépôt en couches minces.
Il n'y a pas encore de critiques