Occasion ADT 977 #293621315 à vendre en France

ADT 977 Wafer Processing Equipment est un système automatisé haute performance spécialement conçu pour transporter et traiter des wafers de tailles et d'épaisseur variables. L'unité est composée d'une machine de transport de type portique, d'un capot de repos, d'un loadlock, de plusieurs chambres de traitement et d'une chambre de port de chargement. L'outil de transport est piloté par une combinaison d'entraînement xy-table et de technologie de moteur linéaire, permettant un contrôle précis du positionnement du substrat et un déplacement précis et rapide des substrats d'une chambre à l'autre. Le capot de quiescent abrite un réseau de distribution de gaz avec plusieurs régulateurs de débit massique pour un contrôle précis du processus et des gaz de nettoyage. Un mandrin de plaquette haute performance est intégré dans l'actif, et un choix de hucking sous vide ou atmosphérique peut être spécifié en fonction de l'application. Le loadlock chauffé, conçu avec des coins de graphite cristallisé, dispose à la fois d'une vanne de sélection manuelle et d'une vanne de grille automatisée pour un contrôle précis et une commutation rapide de la pression dans la chambre. Les chambres de 977 sont hautement configurables, capables de réaliser une variété de procédés différents, y compris le dépôt, la gravure, le décollage, l'oxydation, l'implantation et le nettoyage. Les modules de processus peuvent tous être reliés au modèle de commande principal, ce qui permet de régler avec précision la pression, la température et d'autres paramètres. La chambre de port de chargement est équipée d'un port de transfert propre, contrôlé automatiquement, permettant un accès contrôlé aux chambres de traitement. ADT 977 comprend également la vidéosurveillance, une capacité de recette automatisée et une interface utilisateur complète, permettant un fonctionnement facile et intuitif des processus. En outre, l'équipement dispose d'un bouton d'arrêt d'urgence, d'une capacité d'arrêt globale, d'interrupteurs d'interception et de dispositifs de sécurité intégrés conçus pour offrir une protection optimale contre les incidents inattendus et les accidents potentiels. 977 Wafer Processing System offre une solution économique pour la manutention, le transport et le traitement automatisés des wafers. C'est une unité fiable et facile à utiliser, adaptée à un large éventail d'applications dans l'industrie de la microélectronique.