Occasion AIT VRS-150 #293648371 à vendre en France
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AIT VRS-150 est un équipement de traitement des plaquettes polyvalent et fiable conçu pour répondre aux besoins des applications semi-conductrices les plus exigeantes. Ce système comprend une station de transfert entièrement automatisée, ainsi qu'un bras robotique de pointe, lui permettant de manipuler facilement chaque plaquette à travers ses différentes étapes de processus. L'unité de robotique est également renforcée par plusieurs systèmes de vision, qui utilisent des algorithmes propriétaires pour surveiller l'ensemble des progrès de la puce et de la plaquette. VRS-150 peut traiter un large éventail de tailles et de types de plaquettes, y compris des plaquettes de 8 pouces et de 12 pouces. Il peut également accueillir une gamme d'épaisseurs de plaquettes, allant de 75 à 300 μ m. Cette machine a également une température maximale de plaquette jusqu'à 175 ° C, ce qui est parfait pour les applications nécessitant un recuit ou d'autres traitements à haute température. Le contrôleur de l'outil est un processeur compatible IBM, avec deux lecteurs pour le logiciel de gestion de plaquettes embarquées et les programmes de paquets de spécifications mondiaux. Le programme de paquets permet la configuration personnalisée des paramètres pour chaque étape du processus, avec un contrôle manuel et automatique disponible. Le contrôleur est en outre capable de surveiller et de contrôler en ligne, d'ajuster les performances du processeur, ainsi que les alarmes et l'enregistrement des erreurs (en temps réel). L'AIT VRS-150 dispose également d'une grande variété d'outils de processus. Ces outils comprennent des accélérateurs à gravure sèche, des fours à dépôt chimique en phase vapeur (CVD), des fours et divers outils de nettoyage des plaquettes. Chaque outil est conçu non seulement pour produire des produits de haute qualité, mais aussi pour minimiser les risques de contamination. Les fours CVD sont également optimisés pour fournir un processus basse température et basse pression, idéal pour les composants haute performance. En résumé, VRS-150 est un actif de traitement de plaquettes très avancé et polyvalent. Son contrôleur facile à utiliser, sa station de transfert automatisée, son bras robotique robuste et sa gamme d'outils de processus de haute technologie en font le choix idéal pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs haute performance.
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