Occasion AIT VRS-150 #293648375 à vendre en France

AIT VRS-150 est un équipement de traitement de gaufrette complètement automatisé conçu à exécuter le 45 tours et les processus de multilaisser-passer pour SiC-SiO2, le Si LPCVD et déposition de polysilicium, aussi bien que graver à l'eau forte et se déshabiller. Ses procédés logiciels avancés sont capables d'obtenir une uniformité de dépôt et de gravure supérieure avec des variations de lot à lot minimes. Le système est équipé d'un pré-aligneur multi-stations, d'un élévateur de plaquettes et d'un pré-aligneur de plaquettes pour assurer une manipulation précise des plaquettes. De plus, l'unité comprend plusieurs portes de chambre à vide, chacune étant solidaire de la porte principale de la machine, assurant une sécurité supplémentaire et un procédé redondant. L'outil est intégré à trois serrures de charge individuelles, supportant chacune jusqu'à 150 mm de plaquettes, ce qui permet des processus simples et multi-passes. En outre, l'actif dispose d'un moniteur de courant de faisceau He haute résolution pour un contrôle précis du processus PECVD. VRS-150 est conçu avec un contrôle critique du processus qui aide à réduire la perte de rendement induite par la variabilité du processus. Il est intégré avec plusieurs capteurs de pression, capteurs de température, et un contrôleur RF à cristaux de quartz. De plus, le modèle comprend un élévateur à quatre zones et une commande d'inclinaison du suscepteur pour assurer une grande homogénéité du film déposé. Pour assurer le fonctionnement sécuritaire de l'équipement, l'AIT VRS-150 est équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité tels qu'un bouton d'arrêt d'urgence, une coupure de sécurité au gaz et une réinitialisation de sécurité au gaz. En outre, le système est conçu avec une unité de surveillance des gaz pour la sécurité des procédés et la surveillance des gaz dangereux, permettant des opérations plus sûres dans les environnements critiques de traitement. Dans l'ensemble, VRS-150 est une unité de traitement de plaquettes robuste et fiable qui peut fournir des processus simples et multi-passes fiables pour SiC-SiO2, Si LPCVD et le dépôt de silicium polycristallin, ainsi que la gravure et le strippage.